本實(shí)用涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置。背景技術(shù):近年來(lái),人們對(duì)半導(dǎo)體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時(shí),對(duì)于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化、高性能化的要求也越來(lái)越嚴(yán)格,而蝕刻的效果能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞,影響高密度細(xì)導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量,為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過(guò)程中,對(duì)蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導(dǎo)體裝置的配線的斷路、短路,得到較高的成品率,為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,在蝕刻液中需要加入多種組分,而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合?,F(xiàn)有的高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置密封性差,連接安裝步驟繁瑣,還需要使用工具才能進(jìn)行連接安裝或拆卸,而且現(xiàn)有的高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置沒(méi)有過(guò)濾的部件,蝕刻液中的各組份蝕刻液雜質(zhì)含量多,且多種強(qiáng)酸直接共混存在較大的安全隱患,裝置不夠完善,難以滿足現(xiàn)代社會(huì)的需求。所以,如何設(shè)計(jì)高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,成為我們當(dāng)前需要解決的問(wèn)題。上海和輝光電用的哪家的蝕刻液?廣州天馬用的蝕刻液蝕刻液報(bào)價(jià)

操作人員的手會(huì)與連接構(gòu)件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進(jìn)行吸收,避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候,會(huì)因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行;然后,通過(guò)連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部構(gòu)件進(jìn)行連接,連接構(gòu)件11設(shè)置有十四個(gè),連接構(gòu)件11設(shè)置在攪拌倉(cāng)23的底部,連接構(gòu)件11與攪拌倉(cāng)23固定連接,連接構(gòu)件11能將裝置主體1內(nèi)部的兩個(gè)構(gòu)件進(jìn)行連接并固定,且在將兩構(gòu)件進(jìn)行連接或拆卸的時(shí)候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構(gòu)件的連接管放在連接構(gòu)件11的兩端,再通過(guò)連接管與連接構(gòu)件11內(nèi)側(cè)兩端的螺紋管27進(jìn)行連接,通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)連接構(gòu)件11的兩側(cè)部位,同時(shí)使連接管與連接構(gòu)件11的中間位置固定住,通過(guò)活動(dòng)軸28的作用,使連接管通過(guò)連接有的螺紋向內(nèi)來(lái)連接,使連接管將密封軟膠層29進(jìn)行擠壓,使兩構(gòu)件的連接管進(jìn)行密封連接,有效的提高了裝置連接的實(shí)用性;接著,更換或添加硝酸鉀儲(chǔ)罐21或其它儲(chǔ)罐內(nèi)的制備材料,硝酸鉀儲(chǔ)罐21的頂部嵌入連接有密封環(huán)22,在將制備蝕刻液儲(chǔ)罐加入制備材料的時(shí)候,需要將儲(chǔ)罐進(jìn)行密封,密封環(huán)22能將硝酸鉀儲(chǔ)罐21和其他儲(chǔ)罐的頂蓋與儲(chǔ)罐主體連接的位置進(jìn)行密封。無(wú)錫哪家蝕刻液蝕刻液銷(xiāo)售廠金屬蝕刻網(wǎng)會(huì)用到蝕刻液?jiǎn)幔?/p>

圖7:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)運(yùn)作局部放大圖。圖8:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖。圖9:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖。圖11:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其三較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖。圖12:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13:本實(shí)用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號(hào)說(shuō)明:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)a擋液板結(jié)構(gòu)b風(fēng)刀c氣體本實(shí)用新型1蝕刻設(shè)備10擋液板結(jié)構(gòu)11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三擋板20基板30輸送裝置31滾輪40風(fēng)刀裝置41***風(fēng)刀42第二風(fēng)刀43氣體50噴灑裝置51藥液s1步驟一s2步驟二s3步驟三s4步驟四h長(zhǎng)度θ夾角θ1***夾角θ2第二夾角θ3第三夾角θ4接觸角a0孔徑a1上孔徑a2下孔徑w、w1、w2距離。具體實(shí)施方式首先,請(qǐng)參閱圖2與圖3所示,為本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,以及宣泄孔排列示意圖,其中本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)10適用于一濕式蝕刻機(jī)(圖式未標(biāo)示)。
以及一設(shè)置于基板下方的第二風(fēng)刀,其中***風(fēng)刀與第二風(fēng)刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中蝕刻設(shè)備可進(jìn)一步設(shè)置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對(duì)于風(fēng)刀裝置一端而設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的另一端部。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中擋液板結(jié)構(gòu)與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中滾輪呈順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng),并帶動(dòng)基板由噴灑裝置下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀下端部的方向移動(dòng)。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中氣體遠(yuǎn)離***風(fēng)刀與第二風(fēng)刀的方向分別與基板的法線方向夾設(shè)有一第三夾角。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,為了達(dá)到上述實(shí)施目的,本實(shí)用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體內(nèi)運(yùn)行;首先,設(shè)置一擋液板結(jié)構(gòu),其中擋液板結(jié)構(gòu)設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔;接著,使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的輸送裝置輸送一基板,以經(jīng)過(guò)一噴灑裝置進(jìn)行一藥液噴灑;接續(xù),使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的風(fēng)刀裝置對(duì)基板吹出一氣體,以使基板干燥;***,氣體經(jīng)由宣泄孔宣泄。如上所述的蝕刻方法。平板顯示用的蝕刻液有哪些;

也不能在回收結(jié)束后對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行清理的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體,所述裝置主體內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜,所述裝置主體上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗,所述進(jìn)液漏斗上設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng),所述裝置主體內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管,所述進(jìn)液管左端連接有伸縮管,所述伸縮管下端安裝有噴頭,所述裝置主體上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環(huán)塊,所述圓環(huán)塊與噴頭之間固定連接有連接桿,所述分隔板右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵,所述增壓泵下端與電解池之間連接有回流管,所述增壓泵上端與進(jìn)液管之間連接有一號(hào)排液管,所述回流管內(nèi)部左端設(shè)置有一號(hào)電磁閥,所述裝置主體左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵,所述抽氣泵下方設(shè)置有集氣箱,所述集氣箱與抽氣泵之間連接有排氣管,所述電解池下端連接有二號(hào)排液管,所述二號(hào)排液管內(nèi)部上端設(shè)置有二號(hào)電磁閥,所述裝置主體內(nèi)部底端靠近左側(cè)設(shè)置有傾斜板。蘇州哪家公司可以做蝕刻液;揚(yáng)州鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液廠家現(xiàn)貨
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制備裝置主體1的內(nèi)部中間部位活動(dòng)連接有高效攪拌裝置2,制備裝置主體1的一側(cè)中間部位嵌入連接有翻折觀察板4,制備裝置主體1的底端固定連接有裝置底座5,裝置底座5的內(nèi)部底部固定連接有成品罐6,裝置底座5的頂端一側(cè)固定連接有鹽酸裝罐7,裝置底座5的頂端另一側(cè)固定連接有硝酸裝罐8,高效攪拌裝置2的內(nèi)部頂部中間部位活動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤(pán)12,高效攪拌裝置2的內(nèi)部頂部?jī)蓚?cè)活動(dòng)連接有震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14的頂端固定連接有運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13,運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13的頂端電性連接有控制面板15,高效攪拌裝置2的內(nèi)部中間部位固定連接有致密防腐桿16,致密防腐桿16的內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)貫穿連接有攪動(dòng)孔17,鹽酸裝罐7的內(nèi)部一側(cè)嵌入連接有嵌入引流口22,嵌入引流口22的一端固定連接有負(fù)壓引流器21,負(fù)壓引流器21的一端固定連接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)固定連接有注入量觀察刻度線19,注入量控制容器18的一側(cè)嵌入連接有限流銷(xiāo)20。推薦的,翻折觀察板4的內(nèi)部頂部活動(dòng)連接有觀察窗翻折滾輪401,觀察窗翻折滾輪401的底端活動(dòng)連接有內(nèi)嵌觀察窗402,該裝置在進(jìn)行制備時(shí),具有一定的危險(xiǎn)性,工作人員無(wú)法直接對(duì)其內(nèi)部的運(yùn)行狀況進(jìn)行很好的實(shí)時(shí)查看,通過(guò)設(shè)置內(nèi)嵌觀察窗402。廣州天馬用的蝕刻液蝕刻液報(bào)價(jià)