所述液位計(jì)連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)視鏡。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述液位計(jì)安裝于所述分離器的外表面。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述液位開關(guān)為控制閥,設(shè)置于所述濾液出口處。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器底部為錐體形狀。上述,利用加熱器對含銅蝕刻液進(jìn)行加熱,使其達(dá)到閃蒸要求的溫度,將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器,經(jīng)過減壓閥及真空泵減壓,含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,通過除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出,減小產(chǎn)品損失。附圖說明圖1是本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)施例的外觀示意圖。圖中:1、液體入口;2、濾液出口;3、除霧組件;4、除沫組件;5、蒸汽出口;6、液相氣相溫度傳感器;7、液位計(jì);8、壓力傳感器;9、液位開關(guān);10、視鏡;11、加熱器;12、減壓閥;13、真空泵。具體實(shí)施方式在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器11,所述分離器設(shè)有液體入口1、蒸汽出口5及濾液出口2,所述液體入口1用于將加熱器11產(chǎn)生的液體輸入至分離器中。剝離液可以有正膠和負(fù)膠以及正負(fù)膠不同的分類。無錫市面上哪家蝕刻液銷售廠家
經(jīng)除霧組件3除霧后的氣體會(huì)夾帶著泡沫,泡沫中還是含有銅元素,為進(jìn)一步提高回收效率,需對氣體和泡沫進(jìn)行分離,泡沫與絲網(wǎng)碰撞時(shí)會(huì)吸附在絲網(wǎng)的細(xì)絲表面,細(xì)絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降,使泡沫形成較大的液滴沿細(xì)絲流至兩根絲的交點(diǎn),當(dāng)液滴累積至其自身產(chǎn)生的重力超過氣體的上升力和液體表面張力合力時(shí),液滴就從細(xì)絲上分離下落,氣體在通過絲網(wǎng)除沫后,基本上不含泡沫。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,所述分離器設(shè)有液位計(jì)7、液位開關(guān)9、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會(huì)因分離器內(nèi)壓力小而發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生二次蒸汽,使氣液分離的效率更高,所以要維持分離器內(nèi)的壓力不變,通過觀察液位計(jì)7來使用液位開關(guān)9控制分離器內(nèi)壓力穩(wěn)定,保證分離器的工作狀態(tài)在設(shè)計(jì)的狀態(tài)下。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,所述液位計(jì)7連接有液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8將分離器內(nèi)的工作情況反映到液位計(jì)7,工作人員可以通過觀察液位計(jì)7知道分離器內(nèi)的工作情況。液相氣相溫度傳感器6采用漂浮式傳感器,在分離器內(nèi)液面處工作,壓力傳感器8安裝在分離器底部,有效測量分離器內(nèi)液壓。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示。江蘇蝕刻液推薦貨源性價(jià)比高的蝕刻液哪里可以買到;
鋁板面蝕刻用:酸、堿都行。(鋁板是兩性材料,既能與酸反應(yīng),又能與堿反應(yīng),所以腐蝕液有的用堿性材料腐蝕,有的用酸性材料腐蝕,一般情況下,以酸性材料腐蝕的為多,堿性材料可以洗白。下好料的鋁板用棗木碳研磨,去掉油膩、劃痕,磨出啞光表面。然后用絲網(wǎng)版印上紋樣,油墨型號(hào)為80-39、80-59、80-49等。這種耐腐蝕油墨細(xì)膩,印出的紋樣質(zhì)量高。印完紋樣后放進(jìn)電爐內(nèi)烘干,然后用即時(shí)貼封住后面,用膠帶封邊,進(jìn)入腐蝕工藝。鋁板的腐蝕液配方如下:三氯化鐵50%硫酸銅50%水適量,波美度15~20°之間,鋁板腐蝕時(shí)應(yīng)平放,在腐蝕的過程中紋樣上溢出赭紅色的滓渣,應(yīng)隨時(shí)用毛刷去掉,鋁面上冒出大量泡泡,滓渣隨泡泡浮起。鋁板的腐蝕時(shí)間大約在15~20min左右就可完成。一般情況下鋁板厚度不應(yīng)低于1mm,否則一不小心會(huì)腐蝕透,影響效果。鋁板的防護(hù)材料用香蕉水去掉。腐蝕后的鋁板拋光和銅板一樣,拋光時(shí)用香蕉水搓凈余蠟,用另一塊棉花擦磨出亮光,然后噴護(hù)光劑防護(hù),其它同銅一樣加工。)
銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學(xué)品產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于平板顯示、LED制造及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。隨著新技術(shù)的不斷進(jìn)步,對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎(chǔ)上我司自主進(jìn)行了無氟,無硝酸,低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發(fā),并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產(chǎn)品特點(diǎn):1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度(32)下可穩(wěn)定72H,常溫可穩(wěn)定120H;無暴沸現(xiàn)象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好,taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結(jié)構(gòu)不同膜厚度的機(jī)種。蝕刻液的技術(shù)指標(biāo)哪家比較好?
所述液體入口1處設(shè)有減壓閥12,所述蒸汽出口5處設(shè)有真空泵13、除霧組件3及除沫組件4,所述除霧組件3用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件4用于將經(jīng)除霧組件3除霧的氣體進(jìn)行除沫。含銅蝕刻液在加熱器11中進(jìn)行加熱,達(dá)到閃蒸要求的溫度,輸送至分離器,通過減壓閥12減壓,真空泵13對分離器內(nèi)抽氣,使分離器內(nèi)處于低壓狀態(tài),含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,閃蒸產(chǎn)生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,大液滴中含有銅,通過除霧組件3和除沫組件4對蒸汽進(jìn)行分離過濾,也可以防止大液滴從蒸汽出口5飛出,減少產(chǎn)品損失。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,所述除霧組件3為設(shè)有多個(gè)平行且曲折的通道的折流板。液體在隨著氣體上升時(shí)會(huì)有慣性,因?yàn)橐后w與氣體的質(zhì)量不同,他們的慣性也不同,當(dāng)夾帶著液體的氣體以一定速度通過折流板曲折的通道時(shí),液體流動(dòng)的方向不斷在曲折的通道中發(fā)生變化,液體的慣性較大,依舊保持原來的運(yùn)動(dòng)方向,從氣體中脫離,撞擊折流板壁面從而被擋下,氣體則順利通過折流板通道排出,被擋下的液體在壁面上匯集成液流,因重力的作用從折流板上流下。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,所述除沫組件4為絲網(wǎng)。因?yàn)槌F組件3中的撞擊過程。使用蝕刻液,實(shí)現(xiàn)高精度圖案制作。成都蝕刻液訂做價(jià)格
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其中輸送裝置借由至少一呈順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)的滾輪帶動(dòng)基板由噴灑裝置的下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀的下端部的方向移動(dòng)。如上所述的蝕刻方法,其中風(fēng)刀裝置分別借由一設(shè)置于該輸送裝置的上端部的***風(fēng)刀與一設(shè)置于該輸送裝置的下端部的第二風(fēng)刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實(shí)用新型所產(chǎn)生的技術(shù)效果:本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F(xiàn)象,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險(xiǎn)等主要優(yōu)勢。附圖說明圖1:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)的整體設(shè)置示意圖。圖2:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其三較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。無錫市面上哪家蝕刻液銷售廠家