可用于銀鎳合金、銀銅合金以及純銀的蝕刻,蝕刻后板面平整光滑。劑對油墨沒有影響,可用于花紋蝕刻處理。三、使用方法:1、原液使用,不須加水,操作溫度可以是25℃-60℃,溫度越高,速度越快。2、將銀板浸泡在銀蝕刻劑中。用軟毛刷來回輕輕刷動,使藥水與銀充分均勻反應;或者也可以用搖床,使藥水來回動運,使板蝕刻速度加快。但不能超聲波,以免破壞(感光)油墨。參考數(shù)據(jù):50℃→5分鐘→0.1毫米深度。30℃→20分鐘→0.1毫米深度。3、水洗后做后續(xù)處理。哪家的蝕刻液的價格優(yōu)惠?揚州銅蝕刻液蝕刻液
目前的平面顯示裝置,尤其是有機電激發(fā)光顯示器,多使用鉻金屬作為導線的材料。但是因為鉻金屬的阻值高,因此研究者一直在尋求利用阻值較低的金屬作為導線的材料。以往曾經(jīng)有提議以銀作為平面顯示裝置的導線材料,但是因為無適當穩(wěn)定的蝕刻液組成物,所以并未有***的運用。近幾年為提高平面顯示裝置的效能,研究者仍專注于如何降低導線材料的電阻值。銀合金目前被視為適當?shù)膶Ь€材料,因其阻值低于其他的金屬。此外,含銀量超過80%以上的銀合金,雖然阻值未若銀金屬一般低,但是其阻值遠低于鉻金屬。然而由于銀合金未具有適當?shù)奈g刻液,所以并沒有廣泛應用于晶片或面板的黃光制程。發(fā)明人爰因于此,本于積極發(fā)明的精神,亟思一種可以解決上述問題的“銀合金蝕刻液”,幾經(jīng)研究實驗終至完成此項嘉惠世人的發(fā)明。合肥銅鈦蝕刻液蝕刻液訂做價格蝕刻液的分類有哪些;
該擋液板結(jié)構(gòu)10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其主要特征在于:該第二擋板12具有復數(shù)個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設置,且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設置,以使該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13圍設成一凹槽的態(tài)樣,在一實施例中,該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形,其中該第二擋板12的長度h介于10cm至15cm之間,而該等開設于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列的態(tài)樣,且該宣泄孔121可為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合;在本實用新型其一較佳實施例中,開設于該第二擋板12上的宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離(例如:圖3中所示的w),其中該宣泄孔121的一孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請一并參閱圖4圖5所示。
本實用新型有關于一種擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設備。背景技術(shù):請參閱圖1所示,為傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)的整體設置示意圖,其中一實心pvc板態(tài)樣的擋液板結(jié)構(gòu)a設置于一濕式蝕刻機(圖式未標示)內(nèi),主要用以阻擋一蝕刻藥液(圖式未標示)對設置于該擋液板結(jié)構(gòu)a下方的基板(圖式未標示)的噴濺而造成蝕刻不均勻的現(xiàn)象,并且在濕式蝕刻的制程步驟中,該基板設置于二風刀b之間,當該基板設置于一輸送裝置(圖式未標示)而由該擋液板結(jié)構(gòu)a的左方接受蝕刻藥液蝕刻后移動至風刀b之間,該等風刀b再噴出一氣體c到該基板的表面以將該基板表面殘留的蝕刻藥液吹除;然而,當在該等風刀b進行吹氣的狀態(tài)下,容易在該擋液板結(jié)構(gòu)a下方形成微小的真空空間而形成渦流并造成真空吸板的問題;因此,如何有效借由創(chuàng)新的硬體設計,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險,仍是濕式蝕刻機等相關產(chǎn)業(yè)開發(fā)業(yè)者與相關研究人員需持續(xù)努力克服與解決的課題。天馬微電子用的哪家的蝕刻液?
silane)系偶聯(lián)劑和水,上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。此外,提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其特征在于,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果。此外,本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度。蝕刻液適用于哪些行業(yè)。蘇州江化微的蝕刻液蝕刻液銷售廠
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影響ITO堿性氯化銅蝕刻液蝕刻速率的因素:1、Cu2+離子濃度的影響:Cu2+是氧化劑,所以Cu2+的濃度是影響蝕刻速率的主要因素。研究銅濃度與蝕刻速率的關系表明:在0~82g/L時,蝕刻時間長;在82~120g/L時,蝕刻速率較低,且溶液控制困難;在135~165g/L時,蝕刻速率高且溶液穩(wěn)定;在165~225g/L時,溶液不穩(wěn)定,趨向于產(chǎn)生沉淀。2、氯化銨含量的影響:通過蝕刻再生的化學反應可以看出:[Cu(NH3)2]+的再生需要有過量的NH3和NH4Cl存在,如果溶液中缺乏NH4Cl,大量的[Cu(NH3)2]+得不到再生,蝕刻速率就會降低,以致失去蝕刻能力。所以,氯化銨的含量對蝕刻速率影響很大。隨著蝕刻的進行,要不斷補加氯化銨。揚州銅蝕刻液蝕刻液