也不能在回收結(jié)束后對裝置內(nèi)部進(jìn)行清理的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體,所述裝置主體內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜,所述裝置主體上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗,所述進(jìn)液漏斗上設(shè)置有過濾網(wǎng),所述裝置主體內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管,所述進(jìn)液管左端連接有伸縮管,所述伸縮管下端安裝有噴頭,所述裝置主體上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環(huán)塊,所述圓環(huán)塊與噴頭之間固定連接有連接桿,所述分隔板右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵,所述增壓泵下端與電解池之間連接有回流管,所述增壓泵上端與進(jìn)液管之間連接有一號排液管,所述回流管內(nèi)部左端設(shè)置有一號電磁閥,所述裝置主體左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵,所述抽氣泵下方設(shè)置有集氣箱,所述集氣箱與抽氣泵之間連接有排氣管,所述電解池下端連接有二號排液管,所述二號排液管內(nèi)部上端設(shè)置有二號電磁閥,所述裝置主體內(nèi)部底端靠近左側(cè)設(shè)置有傾斜板。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司使命必達(dá)。池州銅鈦蝕刻液蝕刻液聯(lián)系方式
etchingamount)的相互關(guān)系的圖表。具體實(shí)施方式本發(fā)明人確認(rèn)了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數(shù)值時能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化,從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優(yōu)異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。本發(fā)明中,蝕刻對象膜可以為氮化物膜,保護(hù)對象膜可以為氧化物膜。此外,本發(fā)明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。<蝕刻液組合物>具體而言,本發(fā)明可以包含磷酸、添加劑和水,上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。本發(fā)明的上述添加劑的特征在于,使上述添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以(參照以下數(shù)學(xué)式)滿足。本發(fā)明中,各添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量的例子示于表3中。此外,由此計(jì)算的各添加劑的aeff值和與此有關(guān)的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結(jié)果,可以確認(rèn)到上述添加劑的aeff值推薦滿足。江蘇哪家蝕刻液蝕刻液價格哪家蝕刻液的的性價比好。
所述裝置主體的內(nèi)部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥,所述連接構(gòu)件的內(nèi)側(cè)固定連接有過濾部件,所述裝置主體的內(nèi)部底端另一側(cè)固定連接有收集倉,所述收集倉的另一側(cè)底部固定連接有密封閥門,所述過濾部件的頂端兩側(cè)活動連接有滑動蓋,所述過濾部件的內(nèi)部中間兩側(cè)固定連接有收縮彈簧管,所述連接構(gòu)件的內(nèi)側(cè)兩端嵌入連接有螺紋管,所述連接構(gòu)件的內(nèi)部中間兩側(cè)活動連接有活動軸,所述連接構(gòu)件的內(nèi)側(cè)中間兩側(cè)嵌入連接有密封軟膠層。推薦的,所述硝酸鉀儲罐的頂部嵌入連接有密封環(huán)。推薦的,所述連接構(gòu)件的兩側(cè)嵌入連接有海綿層。推薦的,所述支撐腿的底端嵌入連接有防滑紋。推薦的,所述過濾部件的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板。推薦的,所述過濾部件設(shè)置有一個,所述過濾部件設(shè)置在連接構(gòu)件的內(nèi)側(cè),所述過濾部件與連接構(gòu)件固定連接。推薦的,所述連接構(gòu)件設(shè)置有十四個,所述連接構(gòu)件設(shè)置在攪拌倉的底部,所述連接構(gòu)件與攪拌倉固定連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:1.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,過濾部件,過濾部件設(shè)置在連接構(gòu)件的內(nèi)側(cè),過濾部件與連接構(gòu)件固定連接,過濾部件能將制備出的蝕刻液進(jìn)行過濾。
蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧酸及其鹽具有作為鈦的絡(luò)合劑的效果,可抑制蝕刻液中產(chǎn)生鈦的沉淀。作為所述α-羥基羧酸,例如可舉出酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸等。α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,從絡(luò)合效果及溶解性的觀點(diǎn)來看,推薦為%至5重量%,更推薦為%至2重量%。另外,蝕刻液也可含有亞硫酸及/或其鹽。亞硫酸及其鹽具有作為還原劑的效果,可提高鈦的蝕刻速度。亞硫酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,從還原性及臭氣的觀點(diǎn)來看,推薦為%至%,更推薦為%至%。蝕刻液中除了上述的成分以外,也能以不妨礙本發(fā)明效果的程度添加其他成分。作為其他成分,例如可舉出表面活性劑、成分穩(wěn)定劑及消泡劑等。蝕刻液可通過使所述各成分溶解于水中而容易地制備。作為所述水,推薦為將離子性物質(zhì)及雜質(zhì)除去的水,例如推薦為離子交換水、純水、超純水等。蝕刻液可在使用時將各成分以成為預(yù)定濃度的方式調(diào)配,也可預(yù)先制備濃縮液并在即將使用之前稀釋而使用。使用本發(fā)明的蝕刻液的鈦的蝕刻方法并無特別限制,例如可舉出:對含有銅及鈦的對象物涂布或噴霧蝕刻液的方法;將含有銅及鈦的對象物浸漬在蝕刻液中的方法等。處理溫度并無特別限制。蝕刻液的大概費(fèi)用大概是多少?
將裝置主體1內(nèi)部的蝕刻液進(jìn)行清洗,具有很好的清理作用。工作原理:對于這類的回收處理裝置,首先將蝕刻液倒入進(jìn)液漏斗6并由過濾網(wǎng)7過濾到進(jìn)液管8中,之后蝕刻液流入到承載板3上的電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環(huán)塊13配合連接桿14和伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進(jìn)而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護(hù)電解池4的功能,之后金屬銅在隔膜5左側(cè)析出;其次在蝕刻液初次電解后,通過控制面板30啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進(jìn)液管8導(dǎo)入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用,然后打開二號電磁閥23,將蝕刻液通過二號排液管22導(dǎo)入到分隔板2左側(cè),傾斜板24使得蝕刻液向左流動以便排出到裝置主體1外,接著啟動抽氣泵19,將電解池4中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管20并導(dǎo)入到集氣箱21中,實(shí)現(xiàn)有害氣體的清理,緊接著打開活動板25將金屬銅取出,之后啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將由進(jìn)水管27導(dǎo)入到蓄水箱26中的清水。性價比高的蝕刻液哪里可以買到;上海江化微的蝕刻液蝕刻液銷售公司
BOE蝕刻液的溶液成分。池州銅鈦蝕刻液蝕刻液聯(lián)系方式
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題即在于提供一種擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機(jī)的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,主要借由具有復(fù)數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異?,F(xiàn)象,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險等主要優(yōu)勢。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。為了達(dá)到上述的實(shí)施目的,本實(shí)用新型提出一種擋液板結(jié)構(gòu),適用于一濕式蝕刻機(jī),擋液板結(jié)構(gòu)包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板,以及一與第二擋板接合的第三擋板,其主要特征在于:第二擋板具有復(fù)數(shù)個貫穿第二擋板且錯位設(shè)置的宣泄孔。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中***擋板與第二擋板呈正交設(shè)置,且第二擋板與第三擋板呈正交設(shè)置。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設(shè)成一凹槽的態(tài)樣。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之間。池州銅鈦蝕刻液蝕刻液聯(lián)系方式