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                             在2.5D封裝中,超聲掃描顯微鏡可檢測(cè)硅中介層與基板的接合完整性,識(shí)別微米級(jí)界面分層。例如,某企業(yè)通過該技術(shù)發(fā)現(xiàn)中介層與基板間存在0.5微米間隙,及時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)避免批量失效。
                                                                    在2.5D封裝中,超聲掃描顯微鏡可檢測(cè)硅中介層與基板的接合完整性,識(shí)別微米級(jí)界面分層。例如,某企業(yè)通過該技術(shù)發(fā)現(xiàn)中介層與基板間存在0.5微米間隙,及時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)避免批量失效。
                                                            
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