探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓(xùn),易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。芯片測試是為了檢驗規(guī)格的一致性而在硅片集成電路上進行的電學(xué)參數(shù)測量。福建自動探針臺配件廠家

半自動探針臺主要應(yīng)用于需要精確運動、可重復(fù)接觸和采集大量數(shù)據(jù)的場合。一些公司也使用半自動探針系統(tǒng)來滿足其小批量生產(chǎn)要求。半自動探針系統(tǒng)的組成部件大部分與手動探針臺相似,但載物臺和控制裝置除外。晶圓載物臺通常是可編程的,并通過軟件與電子控制器來控制移動與方位。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,程序可以設(shè)置映射以匹配器件,可以選擇要檢測的器件。江西半自動探針臺機構(gòu)定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上。

手動探針臺:普遍應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表,量測半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。用途:以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。
探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現(xiàn)被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。圓片移動到下一個芯片的位置,這種方法可以讓圓片上的每一個芯片都經(jīng)過測試。

以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準(zhǔn)備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復(fù)測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。貴州高溫探針臺供應(yīng)商
探針臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。福建自動探針臺配件廠家
探針臺市場逐年增長:半導(dǎo)體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測試(CP測試、FT測試等)、三種設(shè)備(探針臺、測試機、分選機等)。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律,測試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測試機、分選機、探針臺的占比分別為63.10%、17.40%、15.20%。中國半導(dǎo)體市場飛速增長。在全球貿(mào)易摩擦背景下,半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)化率提高成為必然趨勢,國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的投資規(guī)模持續(xù)擴大。福建自動探針臺配件廠家