三坐標測量儀通過探針接觸或非接觸式光學掃描等方式，對工件的尺寸、形狀和位置進行精確測量。在測量過程中，環(huán)境溫度的細微變化會引發(fā)測量儀自身結(jié)構(gòu)以及被測工件的熱脹冷縮。例如，當溫度波動 1℃時，對于長度為 1 米的金屬工件，其長度變化可達 10 微米左右，這在高精度測量中是不容忽視的誤差來源。這種熱變形不僅會影響測量儀的測量精度，還可能導致測量結(jié)果的重復性變差，使生產(chǎn)過程中的質(zhì)量檢測出現(xiàn)偏差，進而影響產(chǎn)品的蕞終質(zhì)量和性能。適用于醫(yī)療設(shè)備生產(chǎn)中的冷卻需求，如激光醫(yī)療設(shè)備、低溫生物樣本儲存等，同時低噪設(shè)計可滿足醫(yī)院環(huán)境要求。河北精密溫控棚

在半導體制造、精密光學檢測等領(lǐng)域，環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能導致產(chǎn)品性能大幅下降。想要實現(xiàn)波動 ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度，需要突破傳統(tǒng)環(huán)境控制的技術(shù)瓶頸。 南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對環(huán)境溫度控制精度可達 ±0.002℃，潔凈度可達一級（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運行提供了可靠的環(huán)境保障。精密溫控設(shè)備現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導體令頁軍企業(yè)，以及國家重點實驗室。精密溫控通過以下方式根據(jù)用戶的不同需求進行設(shè)備的非標定制。河北精密溫控棚極測（南京）精密環(huán)控柜滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。

極測（南京）技術(shù)有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進，包括分區(qū)送風靜壓腔、分區(qū)回風流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達 ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風量小溫差的設(shè)計思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達 ±0.002℃。同時采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設(shè)計密閉防護罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統(tǒng)。運行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動安全保護系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動保護機制，減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅實的保障。隨著半導體技術(shù)的不斷發(fā)展，對晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國半導體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度?，F(xiàn)已服務(wù)多家全球半導體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室。

控制精度是衡量精密環(huán)控設(shè)備的關(guān)鍵指標，通常以溫度和濕度的偏差值表示，如 ±0.1℃和 ±1% RH，偏差值越小，精密環(huán)控設(shè)備的控制能力越強。極測（南京）技術(shù)有限公司的精密環(huán)控設(shè)備運用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，能達到 0.1% 的控制輸出精度。同時，精密環(huán)控設(shè)備內(nèi)部的溫濕度均勻性也很重要，能確保各個位置的物品處于相同環(huán)境條件；而且在長時間運行中，精密環(huán)控設(shè)備的溫濕度控制需保持穩(wěn)定，波動范圍越小越好，像極測的設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。  一般來說，潔凈室的潔凈度要達到Class 1到Class 100的標準。福建冷水機組精密溫控

我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。河北精密溫控棚

光刻機是半導體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，其功能是通過光學投影方式，將掩模版上的集成電路圖形精確轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的晶圓表面，實現(xiàn)電路圖形的圖形化轉(zhuǎn)移工序。在芯片制造流程中，光刻環(huán)節(jié)是蕞為復雜且成本高昂的工藝步驟，其成本占晶圓制造總成本的三分之一，耗時占比達到 40%-60%，直接決定了芯片的制程精度與生產(chǎn)良率。其關(guān)鍵原理是利用高能激光作為光源，光束穿透掩模版后，經(jīng)過聚光鏡系統(tǒng)進行 1/16 比例的縮小，隨后精zhun聚焦于晶圓表面，使光刻膠發(fā)生感光反應(yīng)，從而完成電路圖形的高精度復制。相當于在頭發(fā)絲上刻出一座城市的地圖，其復雜程度和技術(shù)挑戰(zhàn)可想而知，也對運行使用環(huán)境有極高的要求。河北精密溫控棚