大型半導體企業(yè)(如大型晶圓廠、封測廠)生產(chǎn)規(guī)模大、訂單類型多,需要設(shè)備具備 “高產(chǎn)能、高靈活性”,傳統(tǒng)設(shè)備難以兼顧。這款晶圓貼膜機每小時可處理 20-40 片晶圓(根據(jù)尺寸不同),能滿足大型企業(yè)的產(chǎn)能需求;同時,設(shè)備適用6-12 英寸晶環(huán)、支持 UV 膜與藍膜切換,能快速響應(yīng)不同類型的訂單,無需頻繁調(diào)整設(shè)備。設(shè)備可與企業(yè)的 MES 系統(tǒng)對接,實現(xiàn)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的實時上傳與管理,幫助大型企業(yè)實現(xiàn)精細化生產(chǎn)管理,提升生產(chǎn)效率與訂單響應(yīng)速度。半自動晶圓貼膜機的多行業(yè)適配性,能滿足光學鏡頭、LED、IC、PCB、移動硬盤等多領(lǐng)域的半導體材料保護需求。天津鴻遠輝晶圓貼膜機360度切膜

膜材是半導體生產(chǎn)的主要耗材之一,減少膜材浪費能降低企業(yè)成本,半自動晶圓貼膜機在這方面有獨特優(yōu)勢。設(shè)備支持手動調(diào)整貼膜長度,員工可根據(jù)晶圓實際尺寸(如 3 英寸晶圓直徑 76.2mm),精確設(shè)定膜材長度(如 80mm),避免全自動設(shè)備固定長度導致的膜材過剩,每片晶圓可節(jié)省 5-10mm 的膜材;針對不規(guī)則形狀的定制化晶圓(如光學鏡頭異形基片),員工可手動控制貼膜范圍,覆蓋有效區(qū)域,減少無效貼膜導致的浪費。同時,設(shè)備配備膜材余量監(jiān)測功能,當膜材剩余量不足時,會發(fā)出提示音,員工可及時更換膜軸,避免因膜材用盡導致的貼膜中斷,同時確保每卷膜材都能充分使用,無殘留浪費,長期使用可降低 15% 的膜材成本。山西晶圓貼膜機光學鏡頭 led IC半導體貼膜IC、半導體行業(yè),鴻遠輝半自動貼膜機覆蓋多尺寸晶環(huán)與 UV 膜、藍膜。

不同半導體材料的晶圓厚度差異大(如 IC 芯片晶圓 500μm、LED 外延片 300μm、光學鏡頭基片 100μm),半自動晶圓貼膜機的厚度適配性優(yōu)勢明顯。設(shè)備配備手動可調(diào)的厚度檢測裝置,員工根據(jù)晶圓厚度,通過旋鈕調(diào)整檢測探頭高度,探頭接觸晶圓表面后自動停止,確保貼膜壓力與厚度匹配:薄型基片(100-200μm)用低壓力(0.1MPa)避免彎曲,厚型基片(500-1000μm)用高壓力(0.3MPa)確保貼合。操作中,員工可通過設(shè)備顯示屏觀察厚度參數(shù),如發(fā)現(xiàn)與實際晶圓厚度不符,可立即微調(diào);針對多厚度混合訂單(如同一批次包含 300μm 和 500μm 晶圓),員工只需逐片調(diào)整厚度參數(shù),無需更換設(shè)備模塊,每片調(diào)整時間需 10-15 秒,兼顧適配性與效率。
即使是半自動設(shè)備,企業(yè)也關(guān)注貼膜一致性(避免因操作差異導致的質(zhì)量波動),半自動晶圓貼膜機通過 “參數(shù)鎖定 + 人工規(guī)范” 實現(xiàn)這一目標。設(shè)備支持參數(shù)存儲功能,針對常用的晶環(huán)尺寸(如 6 英寸 UV 膜、8 英寸藍膜),可預(yù)設(shè)貼膜壓力、速度、溫度參數(shù),鎖定后員工無法隨意修改,確保不同批次、不同員工操作時參數(shù)一致;同時,設(shè)備配備操作指引燈,如 “上料完成 - 綠燈亮”“貼膜中 - 黃燈亮”,規(guī)范員工操作步驟,減少人為疏忽導致的差異。針對 12 英寸大尺寸晶圓,設(shè)備采用雙滾輪同步加壓,人工只需確保晶環(huán)放置平整,滾輪壓力由設(shè)備自動保持均勻,避免因手動加壓不均導致的貼膜厚度差異,使同批次晶圓的貼膜一致性誤差低于 1%。鴻遠輝半自動設(shè)備兼容藍膜、UV 膜,為移動硬盤生產(chǎn)提供精確貼膜服務(wù)。

LED 外延片加工常需在溫和高溫環(huán)境下進行,傳統(tǒng)保護膜易因耐溫性不足出現(xiàn)脫落或變形,影響外延層質(zhì)量。這款晶圓貼膜機支持的藍膜,具備優(yōu)異的耐溫性能,能承受 LED 外延片加工過程中的溫度變化,始終緊密貼合晶圓表面,避免外延層因膜層脫落暴露而受損。設(shè)備適用6-12 英寸晶環(huán),6 英寸適配小功率 LED 外延片,8 英寸、12 英寸適配大功率外延片,滿足不同 LED 產(chǎn)品的加工需求。其 600×1000×350mm 的尺寸,可靈活放置在 LED 外延片加工車間,設(shè)備與高溫工序的銜接順暢,無需額外調(diào)整空間,幫助企業(yè)減少因膜層問題導致的外延片損耗。8~12Inch 晶環(huán)通用,鴻遠輝半自動晶圓貼膜機適配 IC、半導體行業(yè)加工。山西晶圓貼膜機光學鏡頭 led IC半導體貼膜
光學鏡頭、LED 領(lǐng)域適用,鴻遠輝半自動設(shè)備支持 3~12 英寸晶環(huán)與雙類膜。天津鴻遠輝晶圓貼膜機360度切膜
晶圓貼膜后通常需進入切割工序,若貼膜與切割的銜接不順暢,會增加晶圓搬運次數(shù),增加損傷風險。這款晶圓貼膜機的輸出端可與切割設(shè)備的輸入端直接對接,貼膜后的晶圓通過輸送帶直接進入切割工序,無需人工搬運。設(shè)備適用 6-12 英寸晶環(huán),切割設(shè)備支持的晶環(huán)尺寸與該設(shè)備一致,貼膜參數(shù)(如膜層厚度、粘性)與切割工藝匹配,無需額外調(diào)整,實現(xiàn)貼膜與切割的無縫銜接,減少晶圓搬運損傷,提升切割效率。部分半導體晶圓(如 LED 外延片、功率半導體晶圓)需要長期暫存(1-3 個月),傳統(tǒng)保護膜在長期暫存中易出現(xiàn)粘性下降、膜層老化,影響保護效果。這款晶圓貼膜機支持的藍膜具備長期保護特性,在常溫常濕環(huán)境下,貼合晶圓后可穩(wěn)定保護 3 個月以上,粘性無明顯下降、膜層無老化現(xiàn)象;同時,藍膜具備良好的防潮性,能隔絕空氣與水分,避免晶圓在暫存中氧化。設(shè)備適用 6-12 英寸晶環(huán),不同尺寸晶圓的長期暫存保護都能滿足,幫助企業(yè)解決長期暫存的晶圓保護問題。天津鴻遠輝晶圓貼膜機360度切膜