在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓的保護(hù)質(zhì)量直接影響后續(xù)加工良率,而不同生產(chǎn)階段對(duì)晶環(huán)尺寸的需求差異,常讓企業(yè)面臨設(shè)備適配難題。這款晶圓貼膜機(jī)覆蓋 6/8/12 英寸全規(guī)格適用晶環(huán),既能滿足實(shí)驗(yàn)室小批量研發(fā)時(shí) 、6 英寸晶環(huán)的貼膜需求,也能適配量產(chǎn)線 8 英寸、12 英寸主流晶環(huán)的規(guī)?;鳂I(yè),無需頻繁更換設(shè)備或配件,大幅提升設(shè)備利用率。同時(shí),它支持 UV 膜與藍(lán)膜兩種保護(hù)膜類型,UV 膜低殘留特性適配 IC 芯片、集成電路板等高精度加工場(chǎng)景,藍(lán)膜耐刮屬性則適合 LED 外延片、移動(dòng)硬盤存儲(chǔ)晶圓的暫存保護(hù)。其 600mm×1000mm×350mm 的緊湊尺寸,能靈活嵌入潔凈車間布局,即使空間有限的中小型半導(dǎo)體企業(yè),也能輕松整合到生產(chǎn)線中,為晶圓從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程保護(hù)提供穩(wěn)定支持。針對(duì) 8-12Inch 大尺寸晶環(huán),這款貼膜機(jī)可實(shí)現(xiàn)均勻貼附,膜材張力可控,避免晶環(huán)邊緣起翹,保障貼附穩(wěn)定性。廣州半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)簡易上手

大型半導(dǎo)體工廠的 12 英寸晶圓量產(chǎn)線,對(duì)設(shè)備的穩(wěn)定性與效率要求極高,而傳統(tǒng)設(shè)備常因適配性不足影響產(chǎn)能。這款晶圓貼膜機(jī)不僅支持 12 英寸大尺寸晶環(huán),還兼容 8 英寸、6 英寸規(guī)格,可應(yīng)對(duì)量產(chǎn)線中不同批次的晶圓需求。在膜類型上,UV 膜脫膠效率高,能匹配量產(chǎn)線的快速加工節(jié)奏,減少工序等待時(shí)間;藍(lán)膜則適合晶圓批量暫存,保障大規(guī)模存儲(chǔ)時(shí)的安全性。其 600×1000×350mm 的尺寸設(shè)計(jì),可與量產(chǎn)線的自動(dòng)化輸送系統(tǒng)無縫對(duì)接,設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定,長時(shí)間作業(yè)無故障,能有效提升 12 英寸晶圓的貼膜效率,助力工廠保障量產(chǎn)產(chǎn)能與良率。天津半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)標(biāo)準(zhǔn)劃片切膜針對(duì) 8-12Inch 大尺寸晶環(huán),設(shè)備可精確控制膜材張力,避免邊緣起翹,確保全版面均勻貼附,保障貼附穩(wěn)定性。

LED 行業(yè)從外延片生長到芯片切割的全流程,都需避免晶圓損傷,而不同功率 LED 產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的晶圓尺寸差異,對(duì)貼膜設(shè)備提出更高要求。鴻遠(yuǎn)輝這款晶圓貼膜機(jī)適用晶環(huán)覆蓋 6-12 英寸,6 英寸適配小功率家用照明 LED 晶圓,8 英寸、12 英寸滿足大功率 COB 封裝 LED 晶圓需求,一臺(tái)設(shè)備即可覆蓋多產(chǎn)品線。膜類型適配方面,藍(lán)膜耐溫特性可承受外延片加工的溫和高溫,防止晶圓摩擦劃痕;UV 膜則在芯片切割時(shí)提供牢固固定,后續(xù)脫膠快速無殘留,不影響 LED 電極性能。其 600×1000×350mm 的尺寸設(shè)計(jì),能靈活融入 LED 生產(chǎn)線,無論是小型工廠的緊湊車間,還是大型企業(yè)的規(guī)模化流水線,都能減少空間占用,同時(shí)操作簡便,普通技工培訓(xùn)后即可上手,平衡保護(hù)效果與生產(chǎn)效率。
企業(yè)采購設(shè)備后,售后保障直接影響長期使用體驗(yàn),半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的售后體系能解決企業(yè)的后顧之憂。設(shè)備提供 1 年整機(jī)質(zhì)保,部件(電機(jī)、PLC、視覺系統(tǒng))質(zhì)保延長至 2 年,質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)質(zhì)量問題,廠家承諾 24 小時(shí)內(nèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持(如通過視頻指導(dǎo)排查故障),48 小時(shí)內(nèi)上門維修(全國 7 大售后網(wǎng)點(diǎn)覆蓋主要半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)區(qū))。質(zhì)保期外,廠家提供終身維護(hù)服務(wù),常用易損件(如貼膜滾輪、紫外線燈管)可通過線上商城直接下單,48 小時(shí)內(nèi)送達(dá);同時(shí),廠家每季度會(huì)推送維護(hù)指南(如易損件更換技巧、清潔注意事項(xiàng)),幫助企業(yè)延長設(shè)備使用壽命,即使是半自動(dòng)設(shè)備,也能獲得與全自動(dòng)設(shè)備同等的售后支持。IC 制造,鴻遠(yuǎn)輝半自動(dòng)貼膜機(jī)覆蓋 3/6/8/12 英寸晶環(huán)適配。

大型半導(dǎo)體工廠的量產(chǎn)線需要設(shè)備長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行,若設(shè)備穩(wěn)定性差、易出現(xiàn)故障,會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)線停機(jī),影響產(chǎn)能。這款晶圓貼膜機(jī)經(jīng)過嚴(yán)格的連續(xù)運(yùn)行測(cè)試,可實(shí)現(xiàn) 24 小時(shí)不間斷作業(yè),設(shè)備運(yùn)行時(shí)的故障率低于 0.5%/ 月。設(shè)備配備故障自動(dòng)診斷系統(tǒng),出現(xiàn)異常時(shí)會(huì)及時(shí)報(bào)警并顯示故障原因,維修人員可快速排查解決,減少停機(jī)時(shí)間。設(shè)備適用6-12 英寸晶環(huán),支持 UV 膜與藍(lán)膜切換,在長時(shí)間連續(xù)生產(chǎn)中,即使切換不同規(guī)格的晶圓或膜類型,設(shè)備也能保持穩(wěn)定運(yùn)行,保障量產(chǎn)線的產(chǎn)能。支持批量連續(xù)作業(yè),單次上料后可完成多片晶圓貼附,減少人工干預(yù)頻次,助力提升整體生產(chǎn)效率。東莞鴻遠(yuǎn)輝晶圓貼膜機(jī)真空吸附帶加熱
鴻遠(yuǎn)輝半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的 UV 膜脫膠功能,可根據(jù)加工需求調(diào)整脫膠參數(shù),適配不同厚度、材質(zhì)的半導(dǎo)體材料。廣州半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)簡易上手
不同半導(dǎo)體材料的晶圓厚度差異大(如 IC 芯片晶圓 500μm、LED 外延片 300μm、光學(xué)鏡頭基片 100μm),半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的厚度適配性優(yōu)勢(shì)明顯。設(shè)備配備手動(dòng)可調(diào)的厚度檢測(cè)裝置,員工根據(jù)晶圓厚度,通過旋鈕調(diào)整檢測(cè)探頭高度,探頭接觸晶圓表面后自動(dòng)停止,確保貼膜壓力與厚度匹配:薄型基片(100-200μm)用低壓力(0.1MPa)避免彎曲,厚型基片(500-1000μm)用高壓力(0.3MPa)確保貼合。操作中,員工可通過設(shè)備顯示屏觀察厚度參數(shù),如發(fā)現(xiàn)與實(shí)際晶圓厚度不符,可立即微調(diào);針對(duì)多厚度混合訂單(如同一批次包含 300μm 和 500μm 晶圓),員工只需逐片調(diào)整厚度參數(shù),無需更換設(shè)備模塊,每片調(diào)整時(shí)間需 10-15 秒,兼顧適配性與效率。廣州半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)簡易上手