也很難保證拖車(chē)在地磅頂部不移動(dòng)。在地磅的頂部平臺(tái)中設(shè)置有兩條卡塊40,卡塊與平臺(tái)之間形成一插槽,在地磅的頂部設(shè)置有包括氣缸50和壓緊塊60的氣動(dòng)夾緊機(jī)構(gòu),壓緊塊位于插槽中,氣缸的伸縮桿與壓緊塊固連。拖車(chē)的邊緣沿插槽插入后,氣缸帶動(dòng)壓緊塊下行將拖車(chē)緊緊壓在地磅的頂部。實(shí)施例二本實(shí)施例基于實(shí)施例一。如圖2所示,在拖車(chē)的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在儲(chǔ)存罐外部的護(hù)欄70,以防止其它物品碰撞儲(chǔ)存罐。實(shí)施例三本實(shí)施例基于實(shí)施例一。如圖3所示,在拖車(chē)的頂部設(shè)置有一集液盒,儲(chǔ)存罐安裝在集液盒80中,過(guò)濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲(chǔ)存罐中拔出時(shí)滴落的鋁蝕刻液,由集液盒進(jìn)行收集。實(shí)施例四本實(shí)施例基于實(shí)施例一。如圖4所示,拖車(chē)的頂部于儲(chǔ)存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室22,過(guò)濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲(chǔ)存罐中拔出時(shí)滴落的鋁蝕刻液被集液腔室內(nèi)收集。綜上所述,將原有的大型儲(chǔ)存罐更換成數(shù)個(gè)小型儲(chǔ)存罐,并采用液壓升降式拖車(chē)帶著儲(chǔ)存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車(chē)間與自動(dòng)灌裝車(chē)間之中周轉(zhuǎn),如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動(dòng)灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業(yè)的人力成本投入;而且,將原有的大型儲(chǔ)存罐更換成數(shù)個(gè)小型儲(chǔ)存罐?!覆┭蠡瘜W(xué)」蝕刻液提銅 提供微電子領(lǐng)域個(gè)性化解決方案!池州格林達(dá)蝕刻液供應(yīng)商

因此存在開(kāi)發(fā)蝕刻液組合物時(shí)會(huì)過(guò)度耗費(fèi)時(shí)間和費(fèi)用的問(wèn)題。美國(guó)公開(kāi)**第2號(hào)公開(kāi)了在3dnand閃存的制造工序中,對(duì)于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而,為了選擇構(gòu)成成分的種類(lèi)和濃度,不得不需要測(cè)試蝕刻液組合物的蝕刻性能,實(shí)際情況是,與上述同樣,仍然沒(méi)有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過(guò)度耗費(fèi)時(shí)間和費(fèi)用的問(wèn)題?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)**文獻(xiàn)**文獻(xiàn)1:美國(guó)公開(kāi)**第2號(hào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:所要解決的課題本發(fā)明是為了改善上述以往技術(shù)問(wèn)題的發(fā)明,其目的在于,提供用于選擇硅烷系偶聯(lián)劑的參數(shù)以及包含由此獲得的硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻液組合物,所述硅烷系偶聯(lián)劑作為添加劑即使不進(jìn)行另外的實(shí)驗(yàn)確認(rèn)也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外,本發(fā)明的目的在于,提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外,本發(fā)明的目的在于,提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外,本發(fā)明的目的在于,提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。解決課題的方法為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種蝕刻液組合物,其特征在于,包含磷酸、硅烷。池州BOE蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)蘇州博洋化學(xué)您正確的選擇,歡迎咨詢。

所述制備裝置主體的內(nèi)部中間部位活動(dòng)連接有高效攪拌裝置,所述制備裝置主體的一側(cè)中間部位嵌入連接有翻折觀察板,所述制備裝置主體的底端固定連接有裝置底座,所述裝置底座的內(nèi)部底部固定連接有成品罐,所述裝置底座的頂端一側(cè)固定連接有鹽酸裝罐,所述裝置底座的頂端另一側(cè)固定連接有硝酸裝罐,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部中間部位活動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤(pán),所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部?jī)蓚?cè)活動(dòng)連接有震蕩彈簧件,所述震蕩彈簧件的頂端固定連接有運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,所述運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組的頂端電性連接有控制面板,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部中間部位固定連接有致密防腐桿,所述致密防腐桿的內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)貫穿連接有攪動(dòng)孔,所述鹽酸裝罐的內(nèi)部一側(cè)嵌入連接有嵌入引流口,所述嵌入引流口的一端固定連接有負(fù)壓引流器,所述負(fù)壓引流器的一端固定連接有注入量控制容器,所述注入量控制容器的內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)固定連接有注入量觀察刻度線,所述注入量控制容器的一側(cè)嵌入連接有限流銷(xiāo)。推薦的,所述翻折觀察板的內(nèi)部頂部活動(dòng)連接有觀察窗翻折滾輪,所述觀察窗翻折滾輪的底端活動(dòng)連接有內(nèi)嵌觀察窗。推薦的,所述鹽酸裝罐的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗。推薦的,所述裝置底座的內(nèi)部?jī)蓚?cè)緊密焊接有加固支架。
蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧酸及其鹽具有作為鈦的絡(luò)合劑的效果,可抑制蝕刻液中產(chǎn)生鈦的沉淀。作為所述α-羥基羧酸,例如可舉出酒石酸、蘋(píng)果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸等。α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度并無(wú)特別限制,從絡(luò)合效果及溶解性的觀點(diǎn)來(lái)看,推薦為%至5重量%,更推薦為%至2重量%。另外,蝕刻液也可含有亞硫酸及/或其鹽。亞硫酸及其鹽具有作為還原劑的效果,可提高鈦的蝕刻速度。亞硫酸和/或其鹽的濃度并無(wú)特別限制,從還原性及臭氣的觀點(diǎn)來(lái)看,推薦為%至%,更推薦為%至%。蝕刻液中除了上述的成分以外,也能以不妨礙本發(fā)明效果的程度添加其他成分。作為其他成分,例如可舉出表面活性劑、成分穩(wěn)定劑及消泡劑等。蝕刻液可通過(guò)使所述各成分溶解于水中而容易地制備。作為所述水,推薦為將離子性物質(zhì)及雜質(zhì)除去的水,例如推薦為離子交換水、純水、超純水等。蝕刻液可在使用時(shí)將各成分以成為預(yù)定濃度的方式調(diào)配,也可預(yù)先制備濃縮液并在即將使用之前稀釋而使用。使用本發(fā)明的蝕刻液的鈦的蝕刻方法并無(wú)特別限制,例如可舉出:對(duì)含有銅及鈦的對(duì)象物涂布或噴霧蝕刻液的方法;將含有銅及鈦的對(duì)象物浸漬在蝕刻液中的方法等。處理溫度并無(wú)特別限制。蝕刻液用在哪些工藝段上;

可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;裝置主體1左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵19,抽氣泵19下方設(shè)置有集氣箱21,集氣箱21與抽氣泵19之間連接有排氣管20,電解池4下端連接有二號(hào)排液管22,二號(hào)排液管22內(nèi)部上端設(shè)置有二號(hào)電磁閥23,裝置主體1內(nèi)部底端靠近左側(cè)設(shè)置有傾斜板24,裝置主體1前端表面靠近左上邊角位置設(shè)置有活動(dòng)板25,分隔板2右端放置有蓄水箱26,蓄水箱26上端靠近右側(cè)連接有進(jìn)水管27,回流管15下端連接有抽水管28,抽水管28內(nèi)部上端設(shè)置有三號(hào)電磁閥29,裝置主體1前端表面靠近右側(cè)安裝有控制面板30,傾斜板24的傾斜角度設(shè)計(jì)為10°,活動(dòng)板25前端設(shè)置有握把,活動(dòng)板25與裝置主體1之間設(shè)置有鉸鏈,且活動(dòng)板25通過(guò)鉸鏈活動(dòng)安裝在裝置主體1前端,控制面板30的輸出端分別與增壓泵16、一號(hào)電磁閥18、二號(hào)電磁閥23和三號(hào)電磁閥29的輸入端呈電性連接,通過(guò)設(shè)置有集氣箱21與蓄水箱26,能夠在電解蝕刻液結(jié)束后,啟動(dòng)抽氣泵19,將電解池4中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管20并導(dǎo)入到集氣箱21中,實(shí)現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動(dòng)增壓泵16并打開(kāi)三號(hào)電磁閥29,將蓄水箱26中的清水通過(guò)抽水管28抽入到進(jìn)液管8中。哪家的蝕刻液蝕刻效果好?池州市面上哪家蝕刻液產(chǎn)品介紹
蝕刻液使用時(shí)要注意什么?池州格林達(dá)蝕刻液供應(yīng)商
且過(guò)濾部件能將內(nèi)部的過(guò)濾板進(jìn)行拆卸更換,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,連接構(gòu)件,連接構(gòu)件設(shè)置在攪拌倉(cāng)的底部,連接構(gòu)件與攪拌倉(cāng)固定連接,連接構(gòu)件能將裝置主體內(nèi)部的兩個(gè)構(gòu)件進(jìn)行連接并固定,且在將兩構(gòu)件進(jìn)行連接或拆卸的時(shí)候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,有效的提高了裝置連接的實(shí)用性。附圖說(shuō)明圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型的過(guò)濾部件剖視圖;圖3為本實(shí)用新型的連接構(gòu)件剖視圖;圖4為本實(shí)用新型的內(nèi)部構(gòu)件連接框架圖。圖中:1、裝置主體,2、支撐腿,3、電源線,4、單片機(jī),5、控制器,6、防滑紋,7、密封閥門(mén)(z45x-16),8、收集倉(cāng),9、過(guò)濾部件,10、常閉式密封電磁閥(zca-15biii02-10),11、連接構(gòu)件,12、海綿層,13、攪拌電機(jī)(5ik),14、去離子水儲(chǔ)罐,15、磷酸儲(chǔ)罐,16、醋酸儲(chǔ)罐,17、硝酸儲(chǔ)罐,18、陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐,19、聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲(chǔ)罐,20、氯化鉀儲(chǔ)罐,21、硝酸鉀儲(chǔ)罐,22、密封環(huán),23、攪拌倉(cāng),24、滑動(dòng)蓋,25、收縮彈簧管,26、過(guò)濾板,27、螺紋管,28、活動(dòng)軸,29、密封軟膠層。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖。池州格林達(dá)蝕刻液供應(yīng)商