故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結(jié)構(gòu)10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免基板20的蝕刻不均的現(xiàn)象產(chǎn)生;此外,該輸送裝置30用以承載并運(yùn)送至少一該基板20于該濕式蝕刻機(jī)內(nèi)運(yùn)行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運(yùn)作,故該輸送裝置30具有一驅(qū)動機(jī)構(gòu)以驅(qū)動該滾輪31轉(zhuǎn)動,以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動。步驟三s3:使用一設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10下方的風(fēng)刀裝置40對該基板20吹出一氣體43,以使該基板20干燥;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中,該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的該藥液51帶往與相反于該基板20的行進(jìn)方向,以使該基板20降低該藥液51殘留,其中該氣體43遠(yuǎn)離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。步驟四s4:該氣體43經(jīng)由該復(fù)數(shù)個宣泄孔121宣泄;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中。銅蝕刻液是用來蝕刻銅金屬的化學(xué)藥水;無錫天馬用的蝕刻液蝕刻液私人定做

12、伸縮桿;13、圓環(huán)塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號排液管;18、一號電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號排液管;23、二號電磁閥;24、傾斜板;25、活動板;26、蓄水箱;27、進(jìn)水管;28、抽水管;29、三號電磁閥;30、控制面板。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請參閱圖1-5,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗6,進(jìn)液漏斗6上設(shè)置有過濾網(wǎng)7,裝置主體1內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管8,進(jìn)液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。深圳銅鈦蝕刻液蝕刻液私人定做BOE蝕刻液專業(yè)生產(chǎn)廠家。

負(fù)的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題**少化。本發(fā)明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發(fā)生**少化。因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強(qiáng)于適宜水平時發(fā)生,氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時發(fā)生。以下,對于本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯(lián)劑以及進(jìn)行更詳細(xì)的說明。(a)磷酸本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時使用。相對于組合物總重量,上述磷酸的含量為50~95重量%,推薦為80~90重量%。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下。
本實(shí)用涉及蝕刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種ito蝕刻液制備裝置。背景技術(shù):蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù),蝕刻技術(shù)分為濕蝕刻和干蝕刻,其中,濕蝕刻是采用化學(xué)試劑,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)達(dá)到蝕刻的目的,薄膜場效應(yīng)晶體管液晶顯示器(tft~lcd)、發(fā)光二極管(led)、有機(jī)發(fā)光二極管(oled)等行業(yè)用作面板過程中銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜(ito)的蝕刻通常采用鹽酸和硝酸的混合水溶液?,F(xiàn)有的制備裝置在進(jìn)行制備時會發(fā)***熱反應(yīng),使得裝置外殼穩(wěn)定較高,工作人員直接接觸有燙傷風(fēng)險,熱水與鹽酸接觸會產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),濺出容易傷害工作人員,保護(hù)性不足,鹽酸硝酸具有較強(qiáng)的腐蝕性,常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,影響蝕刻液的質(zhì)量,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進(jìn)行攪拌,成本過高,且混合的效果不好。所以,如何設(shè)計一種ito蝕刻液制備裝置,成為當(dāng)前要解決的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供一種ito蝕刻液制備裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的ito蝕刻液制備裝置保護(hù)性不足、不具備很好的防腐蝕性和混合的效果不好的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種ito蝕刻液制備裝置,包括制備裝置主體、高效攪拌裝置和過濾除雜裝置。銅蝕刻液的配方是什么?

本實(shí)用新型涉及一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備。背景技術(shù):鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備主要包括混合罐、過濾器和儲存罐,將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻,由過濾器濾去雜質(zhì)后投入儲存罐中暫存,然后分裝銷售。以往,鋁蝕刻液的分裝由人工操作,隨著自動化技術(shù)的興起,全自動灌裝線在鋁蝕刻液生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應(yīng)用,但是,我司的鋁蝕刻液生產(chǎn)車間面積較小,無法放置自動灌裝線,所以需要對現(xiàn)有的生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行改造,以實(shí)現(xiàn)鋁蝕刻液的全自動灌裝。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型提出了一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。為達(dá)前述目的,本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案如下:鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,包括混合罐、過濾器、數(shù)個儲存罐、數(shù)輛液壓升降式拖車和地磅,所述混合罐通過液管與所述過濾器連接,所述過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管,每個所述儲存罐固定在對應(yīng)的拖車頂部,所述儲存罐的進(jìn)液口和出液口處安裝有單向液動閥,所述地磅位于所述過濾器的下方,所述地磅的頂部設(shè)置有將所述拖車固定的氣動夾緊機(jī)構(gòu)。在本技術(shù)方案中,載有空儲存罐的拖車置于地磅上方,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進(jìn)液口中,當(dāng)?shù)匕跛鶞y得的重量達(dá)到系統(tǒng)預(yù)設(shè)重量時。請認(rèn)準(zhǔn)蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。合肥銅蝕刻液蝕刻液費(fèi)用
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通過滑動蓋24上的凸塊在過濾部件9內(nèi)部頂端內(nèi)壁的滑槽進(jìn)行滑動,將過濾板26插入過濾部件9內(nèi)部兩側(cè)的固定槽內(nèi),收縮彈簧管25設(shè)置有四處,分別設(shè)置在兩滑動蓋24的內(nèi)側(cè)前面和后面,再通過收縮彈簧管25的彈力將滑動蓋24向內(nèi)活動,使過濾部件9內(nèi)部空間進(jìn)行密封,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。推薦的,連接構(gòu)件11設(shè)置有十四個,連接構(gòu)件11設(shè)置在攪拌倉23的底部,連接構(gòu)件11與攪拌倉23固定連接,連接構(gòu)件11能將裝置主體1內(nèi)部的兩個構(gòu)件進(jìn)行連接并固定,且在將兩構(gòu)件進(jìn)行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構(gòu)件的連接管放在連接構(gòu)件11的兩端,再通過連接管與連接構(gòu)件11內(nèi)側(cè)兩端的螺紋管27進(jìn)行連接,通過轉(zhuǎn)動連接構(gòu)件11的兩側(cè)部位,同時使連接管與連接構(gòu)件11的中間位置固定住,通過活動軸28的作用,使連接管通過連接有的螺紋向內(nèi)來連接,使連接管將密封軟膠層29進(jìn)行擠壓,使兩構(gòu)件的連接管進(jìn)行密封連接,有效的提高了裝置連接的實(shí)用性。工作原理:首先檢查連接構(gòu)件11的完整性,連接構(gòu)件11的兩側(cè)嵌入連接有海綿層12,在使用裝置制備蝕刻液的時候,需要通過連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部的部件進(jìn)行連接,在旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)件11的兩側(cè)時。無錫天馬用的蝕刻液蝕刻液私人定做