***臺(tái)電子探針是法國(guó)制成的,是在1949年用電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成。1953年前蘇聯(lián)制成了X射線微區(qū)分析儀,以后英、美等國(guó)陸續(xù)生產(chǎn)。***臺(tái)掃描電子探針儀是美國(guó)于1960年制成,不僅能對(duì)試樣作點(diǎn)或微區(qū)分析,而且能對(duì)樣品表面微區(qū)進(jìn)行掃描。原子序數(shù)12至22的元素要在真空下進(jìn)行成分測(cè)定,原子序數(shù)12以內(nèi)的元素需要增添一些特殊設(shè)備才能分析。原子序數(shù)50以上的元素用L系X射線光譜進(jìn)行分析,原子序數(shù)50以下的元素也可以分析,如Sn(50)可用K系x射線光譜進(jìn)行分析。 [2]對(duì)于任意一個(gè)給定的入射角θ有一個(gè)確定的波長(zhǎng)λ滿足衍射條件。崇明區(qū)質(zhì)量探針維修價(jià)格

這樣我們可以事先建立一系列θ角與相應(yīng)元素的對(duì)應(yīng)關(guān)系,當(dāng)某個(gè)由電子束激發(fā)的X特征射線照射到分光晶體上時(shí),我們可在與入射方向交成2θ角的相應(yīng)方向上接收到該波長(zhǎng)的X射線信號(hào),同時(shí)也就測(cè)出了對(duì)應(yīng)的化學(xué)元素。只要令探測(cè)器連續(xù)進(jìn)行2θ角的掃描,即可在整個(gè)元素范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量。由分光晶體所分散的單一波長(zhǎng)X射線被X射線檢測(cè)器接受,常用的檢測(cè)器一般是正比計(jì)數(shù)器。當(dāng)某一X射線光子進(jìn)入計(jì)數(shù)管后,管內(nèi)氣體電離,并在電場(chǎng)作用下產(chǎn)生電脈沖信號(hào)。靜安區(qū)質(zhì)量探針按需定制“Wi-Fi信道掃描工具”處于被動(dòng)監(jiān)測(cè)模式,無需用戶主動(dòng)連接某個(gè)WiFi,需打開手機(jī)WiFi功能時(shí)即可捕獲。

2)X射線能譜分析法。無須分析晶體,而直接將探測(cè)器接收的訊號(hào)加以放大,進(jìn)行脈沖幅度分析,通過選擇不同的脈沖幅度來確定入射x射線的能量,從而區(qū)分不同的特征X射線。計(jì)算時(shí)應(yīng)用布拉格方程:nλ=2dsinθ。 [2]1、能進(jìn)行微區(qū)分析??煞治鰯?shù)個(gè)μm3內(nèi)元素的成分。2、能進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)分析。無需把分析對(duì)象從樣品中取出,可直接對(duì)大塊試樣中的微小區(qū)域進(jìn)行分析。把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。3、分析范圍廣。Z>4其中,波譜:Be~U,能譜:Na~U。
3 面分析用于測(cè)定某種元素的面分布情況。方法是將X射線譜儀固定在所要測(cè)量的某元素特征X射線信號(hào)的位置上,電子束在樣品表面做光柵掃描,此時(shí)在熒光屏上便可看到該元素的面分布圖像。顯像管的亮度由試樣給出的X射線強(qiáng)度調(diào)制。圖像中的亮區(qū)表示這種元素的含量較高。定量分析定量分析時(shí),先測(cè)得試樣中Y元素的特征X射線強(qiáng)度IY,再在同一條件下測(cè)出已知純?cè)豗的標(biāo)準(zhǔn)試樣特征X射線強(qiáng)度IO。然后兩者分別扣除背底和計(jì)數(shù)器死時(shí)間對(duì)所測(cè)值的影響,得到相應(yīng)的強(qiáng)度值IY和IO,兩者相除得到X射線強(qiáng)度之比KY= IY / IO。 直接將測(cè)得的強(qiáng)度比KY當(dāng)作試樣中元素Y的重量濃度,其結(jié)果還有很大誤差,通常還需進(jìn)行三種效應(yīng)的修正。即原子序數(shù)效應(yīng)的修正,吸收效應(yīng)修正,熒光效應(yīng)修正。經(jīng)過修正,誤差可控制在±2%以內(nèi)。能兼作透射電鏡、能進(jìn)行電子衍射、能作電子熒光觀察等。

在不損耗試樣的情況下,電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素;但是對(duì)原子序數(shù)小于12的元素,其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測(cè)相對(duì)靈敏度為萬(wàn)分之一,在有些情況下可達(dá)十萬(wàn)分之一。檢測(cè)的***靈敏度因元素而異,一般為10-14~10-16克。用這種方法可以方便地進(jìn)行點(diǎn)、線、面上的元素分析,并獲得元素分布的圖象。對(duì)原子序數(shù)高于10、濃度高于10%的元素,定量分析的相對(duì)精度優(yōu)于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。1948年法國(guó)的R.卡斯坦制造了***臺(tái)電子探針儀。1958年法國(guó)首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能,有的還附加另一些附件,使之除作微區(qū)成分分析外,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。計(jì)算時(shí)應(yīng)用布拉格方程:nλ=2dsinθ。閔行區(qū)質(zhì)量探針推薦貨源
X射線譜儀。測(cè)量各種元素產(chǎn)生的X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度,并以此對(duì)微小體積中所含元素進(jìn)行定性和定量分析。崇明區(qū)質(zhì)量探針維修價(jià)格
該系統(tǒng)為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量,足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,作為X射線的激發(fā)源。為此,一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個(gè)聚光鏡的結(jié)構(gòu)。 為了提高X射線的信號(hào)強(qiáng)度,電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流(在10-9-10-7A范圍),常用的加速電壓為10-30 KV,束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點(diǎn)。其方法是,先利用能發(fā)出熒光的材料(如ZrO2)置于電子束轟擊下,這是就能觀察到電子束轟擊點(diǎn)的位置,通過樣品移動(dòng)裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點(diǎn)上,這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點(diǎn)上,同時(shí)也保證了分析點(diǎn)處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡,其優(yōu)點(diǎn)是光學(xué)觀察和X射線分析可同時(shí)進(jìn)行。放大倍數(shù)為100-500倍。崇明區(qū)質(zhì)量探針維修價(jià)格
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