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冷陰極真空計(jì)(ColdCathodeGauge,如潘寧計(jì))原理:基于高壓電場與磁場協(xié)同作用下的氣體放電效應(yīng)。結(jié)構(gòu)包含兩個(gè)陰極和一個(gè)陽極,外加軸向磁場。高壓電場使陰極發(fā)射電子,電子在磁場中螺旋運(yùn)動(dòng),增加與氣體分子的碰撞概率,導(dǎo)致電離。電離產(chǎn)生的正離子被陰極捕獲,形成離子電流,其大小與氣體分子密度成正比。特點(diǎn):量程:通常為10?6Torr至10?3Torr,適合中高真空。優(yōu)點(diǎn):無加熱元件,結(jié)構(gòu)簡單、壽命長。對(duì)振動(dòng)不敏感(適合航天等惡劣環(huán)境)。局限性:低真空下響應(yīng)慢(需足夠殘余氣體維持放電)。測量結(jié)果可能受磁場均勻性影響。本質(zhì)區(qū)別總結(jié)類型**物理效應(yīng)信號(hào)來源適用量程對(duì)氣體種類敏感性皮拉尼計(jì)熱傳導(dǎo)效應(yīng)金屬絲電阻變化低真空至中真空高(需校準(zhǔn))熱陰極電離計(jì)氣體電離效應(yīng)離子電流高真空至超高真空低(可忽略)冷陰極計(jì)(潘寧)高壓電場+磁場放電效應(yīng)離子電流中高真空低。 隨著真空技術(shù)的普及,大量應(yīng)用于單晶爐設(shè)備,真空計(jì)滿足光伏行業(yè)基礎(chǔ)單晶硅生產(chǎn)。什么是真空計(jì)圖片

利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):皮拉尼(Pirani)電阻規(guī):利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作,通過測量熱絲電阻大小推算氣壓大小。其測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱電偶規(guī):與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,但使用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。測量范圍也一般在0.1Pa至1000Pa。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):熱陰極電離規(guī):由熱陰極發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,通過測量離子電流的大小推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到氣壓大小。其測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。冷陰極電離規(guī):利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,再進(jìn)***壓測量。其測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。相關(guān)商品品質(zhì)精選、專業(yè)服務(wù)什么是真空計(jì)批發(fā)價(jià)格所以測量時(shí)要特別注意被測量氣體種類和成分.否則會(huì)對(duì)真空計(jì)造成很大誤差。

NC610A真空計(jì)廣泛應(yīng)用于光伏、太陽能等行業(yè)的真空爐上。冷陰極型(如潘寧計(jì)):利用高壓電場和磁場使殘余氣體電離,無需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關(guān)。特點(diǎn):量程:通常為10?9Torr至10?3Torr,適合高真空至超高真空。優(yōu)點(diǎn):高真空下精度高(信號(hào)與氣體分子密度直接相關(guān))。對(duì)氣體種類不敏感(電離截面差異可忽略)。局限性:熱陰極型需加熱陰極,可能污染系統(tǒng)(蒸發(fā)材料)。冷陰極型在低真空下可能無法啟動(dòng)(需足夠殘余氣體維持真空計(jì)電離)。
真空壓力計(jì)是一種用于測量真空度或真空壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域和科研環(huán)境中。以下是對(duì)真空壓力計(jì)的詳細(xì)介紹:一、定義與原理真空壓力計(jì)通過測量***壓力與大氣壓力之差來確定真空度。在真空狀態(tài)下,***壓力低于大氣壓,因此真空壓力計(jì)測量的實(shí)際上是這種壓力差,通常以負(fù)值表示。其工作原理可能涉及多種物理現(xiàn)象,如熱傳導(dǎo)、電離、機(jī)械變形等,具體取決于真空壓力計(jì)的類型。薄膜真空計(jì):利用薄膜在真空壓力作用下的變形來測量真空度,如電容式薄膜真空計(jì)。U型管真空計(jì):使用歷史**長、結(jié)構(gòu)**簡單的測量壓力的儀器,通過U型管兩端的液面差來指示真空度。數(shù)字式真空壓力計(jì):能夠直接讀取數(shù)字顯示的壓力值,操作便捷,且具有高精度和穩(wěn)定性被測氣體是否會(huì)損傷高精度薄膜真空計(jì);高精度薄膜真空計(jì)可否會(huì)給被測氣體狀態(tài)帶來影響。

在真空鍍膜機(jī)腔體內(nèi),真空計(jì)測量是一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),它涉及使用專為這一目的設(shè)計(jì)的儀器和裝置,即真空計(jì),來測定特定空間內(nèi)的真空度。真空測量分為***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。***真空計(jì)直接測量物理參數(shù)以確定氣體壓強(qiáng),如U型壓力計(jì)和壓縮式真空計(jì),它們不受氣體成分影響,測量準(zhǔn)確度高,但在極低氣體壓強(qiáng)下直接測量變得困難。相對(duì)真空計(jì)則通過測量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量,再與***真空計(jì)對(duì)比得出壓強(qiáng)值,如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。這類真空計(jì)的測量準(zhǔn)確度稍遜于***真空計(jì),且結(jié)果可能受氣體種類影響。在實(shí)際應(yīng)用中,特別是在非校準(zhǔn)場合,相對(duì)真空計(jì)更為常見。真空計(jì)測量精度較高,主要用作基準(zhǔn)量具。EDKORS真空計(jì)成本價(jià)
看高精度薄膜真空計(jì)的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何。什么是真空計(jì)圖片
這些真空泵按工作原理大致可以分為兩類。一類是真空計(jì)將氣體不斷吸入并排出體外的泵,例如機(jī)械泵、渦輪分子泵;一類是將氣體分子吸附在內(nèi)壁上的泵,例如鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵。不管工作原理如何,這些泵的**終目的都是減少腔體內(nèi)的氣體分子數(shù)。由于不同泵的構(gòu)造不同,每種泵都有自己的工作區(qū)間,只有在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)才可以正常工作,否則就會(huì)損壞。不同泵的工作壓強(qiáng)區(qū)間如下圖所示。從上圖我們可以看出,要達(dá)到超高真空,只用一種泵是無法實(shí)現(xiàn)的,需要不同種類的泵接力,像極了我們做科研的過程,不是嗎?團(tuán)隊(duì)合作。在實(shí)驗(yàn)室,我們先用機(jī)械泵抽到粗真空,再打開分子泵抽到高真空,**后用離子泵或者鈦升華泵抽到實(shí)驗(yàn)所需的真空狀態(tài)。 什么是真空計(jì)圖片