真空計(jì)廣泛應(yīng)用于氣體輸送、管道液體及密閉容器中測(cè)量無腐蝕性、無危險(xiǎn)、無結(jié)晶體、不凝固體的各種液體、氣體、蒸汽等介質(zhì)的壓力大小。特別是在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、納米技術(shù)研發(fā)、生物醫(yī)學(xué)研究以及航空航天等領(lǐng)域，真空壓力計(jì)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，為產(chǎn)品的質(zhì)量控制和研發(fā)創(chuàng)新提供了有力支持。四、特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)高精度：能夠準(zhǔn)確反映真空系統(tǒng)的壓力狀況。穩(wěn)定性好：在長時(shí)間使用過程中保持測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。操作便捷：特別是對(duì)于數(shù)字式真空壓力計(jì)，直接讀取數(shù)字顯示的壓力值，操作更為簡單直觀。應(yīng)用范圍廣：不僅適用于科研和工業(yè)生產(chǎn)中的真空測(cè)量，也適用于真空設(shè)備的檢測(cè)和維護(hù)。被測(cè)氣體是否會(huì)損傷高精度薄膜真空計(jì)；高精度薄膜真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來影響。國內(nèi)真空計(jì)技術(shù)參數(shù)

    真空計(jì)是用于測(cè)量真空度的設(shè)備，其工作原理及測(cè)量范圍對(duì)于了解真空技術(shù)至關(guān)重要。在真空鍍膜機(jī)的腔體內(nèi)，真空測(cè)量是指利用專門的儀器和裝置來測(cè)定某一封閉空間內(nèi)的真空度。這些儀器或裝置被稱為真空計(jì)（或規(guī)管），種類繁多，常見的分類方式是根據(jù)其測(cè)量原理。直接通過測(cè)定物理參數(shù)來獲取氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)被稱為***真空計(jì)，例如U型壓力計(jì)和壓縮式真空計(jì)。***真空計(jì)測(cè)量氣體壓強(qiáng)較為準(zhǔn)確，不受氣體成分影響。而相對(duì)真空計(jì)則通過測(cè)量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量，再與***真空計(jì)對(duì)比來得出壓強(qiáng)值，例如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)。相對(duì)真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確度略遜于***真空計(jì)，且測(cè)量結(jié)果與氣體種類相關(guān)。在實(shí)際生產(chǎn)中，除了真空校準(zhǔn)外，相對(duì)真空計(jì)的應(yīng)用更為***。 國內(nèi)真空計(jì)操作相對(duì)真空計(jì)能直接讀出被測(cè)壓力，但是測(cè)量精度較低，測(cè)量結(jié)果與被測(cè)氣體種類和成分有關(guān)！

2025年關(guān)于《雙活塞式壓力真空計(jì)檢定規(guī)程》征求意見稿發(fā)布   真空計(jì)雙活塞式壓力真空計(jì)由簡單活塞系統(tǒng)、差動(dòng)活塞系統(tǒng)、**砝碼、校驗(yàn)器等組成。10月16日，全國壓力計(jì)量技術(shù)委員會(huì)發(fā)布了《雙活塞式壓力真空計(jì)檢定規(guī)程》征求意見稿，并面向全國的計(jì)量機(jī)構(gòu)、科研院所等相關(guān)單位征求意見。本規(guī)程的修訂引用了JJG99《砝碼》檢定規(guī)程文件，適用于測(cè)量范圍為（-0.1——1）MPa的雙活塞式壓力真空計(jì)的***檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。

工作原理播報(bào)編輯兩種真空計(jì)在不同壓強(qiáng)區(qū)間發(fā)揮測(cè)量作用：1.熱偶真空計(jì)加熱電流恒定狀態(tài)下，熱電偶電勢(shì)與氣體熱傳導(dǎo)系數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)壓強(qiáng)低于10Pa時(shí)氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓強(qiáng)降低而減小，通過熱電偶輸出電勢(shì)變化反映真空度。有效測(cè)量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計(jì)燈絲加熱至2200K發(fā)射熱電子，經(jīng)150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流，該電流與氣體壓強(qiáng)成線性關(guān)系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設(shè)備通過動(dòng)態(tài)切換機(jī)制實(shí)現(xiàn)量程銜接：當(dāng)熱偶計(jì)檢測(cè)到壓強(qiáng)低于10?1Pa時(shí)，自動(dòng)開啟電離計(jì) [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調(diào)延時(shí)切換功能，防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]如果大家仔細(xì)觀察很多現(xiàn)代真空技術(shù)生產(chǎn)線設(shè)備，會(huì)發(fā)現(xiàn)這種Tamagawa真空計(jì)小部件，應(yīng)用繁多。

NC610A真空計(jì)廣泛應(yīng)用于光伏、太陽能等行業(yè)的真空爐上。冷陰極型（如潘寧計(jì)）：利用高壓電場(chǎng)和磁場(chǎng)使殘余氣體電離，無需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關(guān)。特點(diǎn)：量程：通常為10?9Torr至10?3Torr，適合高真空至超高真空。優(yōu)點(diǎn)：高真空下精度高（信號(hào)與氣體分子密度直接相關(guān)）。對(duì)氣體種類不敏感（電離截面差異可忽略）。局限性：熱陰極型需加熱陰極，可能污染系統(tǒng)（蒸發(fā)材料）。冷陰極型在低真空下可能無法啟動(dòng)（需足夠殘余氣體維持真空計(jì)電離）。薄膜電容真空計(jì)又稱CBB電容，它有聚丙烯膜和聚酯膜兩種介質(zhì)分類。國內(nèi)真空計(jì)技術(shù)參數(shù)

大部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。國內(nèi)真空計(jì)技術(shù)參數(shù)

電阻真空計(jì)的原理與應(yīng)用電阻真空計(jì)，作為熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一種，其工作原理是利用測(cè)量真空中熱絲的溫度來間接獲得真空度的大小。在低壓環(huán)境下，氣體的熱傳導(dǎo)特性與壓強(qiáng)密切相關(guān)，因此，電阻真空計(jì)的關(guān)鍵在于如何準(zhǔn)確測(cè)量溫度參數(shù)并建立起電阻與壓強(qiáng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。該儀器的主要構(gòu)成部分包括規(guī)管中的加熱燈絲，通常采用電阻溫度系數(shù)較高的鎢絲或鉑絲。電阻真空計(jì)通過測(cè)量熱絲電阻變化來確定真空度，其結(jié)果依賴于氣體種類且存在測(cè)量范圍限制。測(cè)量范圍通常在105～10-2Pa之間。國內(nèi)真空計(jì)技術(shù)參數(shù)