在實際應用中,極測的溫控設備已經(jīng)在眾多半導體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測的溫控設備后,光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun,芯片上的電路圖案更加清晰、準確,有效減少了因溫度問題導致的圖案偏差和缺陷,產(chǎn)品良率大幅提高。現(xiàn)已服務多家芯片半導體前列企業(yè)與國家重點實驗室。 同時極測(南京)具備全場景非標定制能力。可根據(jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù),進行靈活定制。擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領跑超高精密環(huán)控技術革新。河南精密溫控價格

毫開爾文級控制:精密溫控設備采用閉環(huán)氣流循環(huán)系統(tǒng),通過EC風機驅動氣流以精密算法規(guī)劃的路徑均勻覆蓋設備內部,實現(xiàn)關鍵區(qū)域溫度波動控制在±2mK(靜態(tài)),溫度均勻性<16mK/m
動態(tài)響應機制:自主研發(fā)的高精密控溫技術實現(xiàn)0.1%的控制輸出精度,精密溫控設備對外界環(huán)境變化實現(xiàn)毫秒級響應
潔凈度標準:讓塵埃無處遁形超越傳統(tǒng)的潔凈標準:精密溫控設備通過多層高效粒子過濾器與動態(tài)氣流管理,工作區(qū)潔凈度達ISOClass3標準及以上,遠超傳統(tǒng)實驗室的ISOClass5標準
微粒攔截:精密溫控設備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒,杜絕因微粒污染導致的集成電路短路或光學傳感器失效智能生態(tài):看得見的穩(wěn)定,可追溯的精zhun
環(huán)境“心電圖”:精密溫控設備智能監(jiān)控系統(tǒng)自動生成帶時間戳的溫濕度曲線報告,支持一鍵導出,滿足ISO17025等國際標準對數(shù)據(jù)完整性的要求
靜音護航:精密溫控設備采用EC風機與高效隔音材質,運行噪音<45dB,營造舒適工作環(huán)境
靈活架構:按需定制的環(huán)境解決方案模塊化設計:精密溫控設備采用可拆卸鋁合金框架結構,支持大型設備現(xiàn)場組裝,突破空間限制
按需定制:從溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度等級到抗微振、防磁、隔音性能,提供全場景非標定制服務 光學精密溫控單元極測(南京)技術有限公司,作為成熟的高精密環(huán)境控制設備制造商,專注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。

極測(南京)技術有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證,大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定,以實現(xiàn)環(huán)境倉內部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內部構造先進,包括分區(qū)送風靜壓腔、分區(qū)回風流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設計方案等。自研高精密溫控技術,冷凍水的出水溫度蕞高精度可達 ±0.002℃。
在溫度控制方面,采用大風量小溫差的設計思想,通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量,使溫度波動處于極低數(shù)值,關鍵區(qū)域可達 ±0.002℃。同時采用多級控溫,將溫度精度逐步提升。針對光路部分設計密閉防護罩,表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度,控制風速。對于局部發(fā)熱區(qū)域,采用局部氣浴進行溫度控制,確保該區(qū)域溫度在一定范圍內,且 30s 內的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后,精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃,濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH,潔凈度從 100 級提升至 10 級,噪音值從 70dB 降低至 55dB,測量誤差從 400 降低至 4。
極測(南京)技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業(yè)領域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專長,同時匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗的行業(yè)前列工程師,致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發(fā)等領域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案,現(xiàn)已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室,應用于眾多科研與生產(chǎn)場景,科學技術成果認定為國際先進水平。目前,高精密環(huán)境控制設備已實現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領跑超高精密環(huán)控技術革新。極測(南京)擁有自己的工廠,能夠有效地將研發(fā)成果轉化為實際產(chǎn)品。

精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動會導致儀器設備、被測樣品等產(chǎn)生形變,影響空氣對光的折射波動;濕度波動會影響空氣折射率,濕度過高還易造成電器故障;二氧化碳濃度、壓力梯度波動會影響空氣折射率;微振動會造成儀器設備等抖動,影響光路;電磁干擾、接地電阻過大會影響儀器設備正常工作。
極測(南京)技術有限公司針對不同環(huán)境控制需求,提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃,濕度控制精度為 ±5~15%,潔凈度等級為十萬級到百級,采用恒溫恒濕超凈間;精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃,濕度控制精度為 ±2~5%,潔凈度等級為萬級到百級,采用精密恒溫恒濕超凈間;高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃,濕度控制精度為 ±2~5%,潔凈度等級為千級到百級,采用高精密恒溫恒濕超凈間;超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃,濕度控制精度為 ±1~5%,潔凈度等級為百級到十級,在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng),同時氣流 / 風速 / 壓差控制、CO?濃度調節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。
除了溫控精度與潔凈度,系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH,壓力波動控制在±3Pa以內。0.01精密溫控
靈活部署:采用可拆卸鋁合金框架結構,大型設備現(xiàn)場輕松組裝,大幅節(jié)省安裝成本和時間。河南精密溫控價格
高精密冷凍水機組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設計的制冷設備,通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán),為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制,滿足嚴苛的溫控需求。極測(南京)技術有限公司采??研溫控技術,高精密冷凍水機組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達±0.002℃。高精密冷凍水機組采用國際有名品牌壓縮機,配套高質量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點。高精密冷凍水機組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊,準確測量實驗艙內實時的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器,冷凍水閥無級調節(jié)、無級調節(jié)電加熱器、模擬量控制加濕器可根據(jù)實際實驗艙需求調節(jié)輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法,在運行過程中進行比例、積分、微分的計算并輸出控制,使實驗室內溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài),絕dui焓濕量的控制策略,使控制實驗艙內濕度控制快速準確,沒有誤操作誤判斷。河南精密溫控價格