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一般情況下,采用單層增透膜很難達(dá)到理想的增透效果,為了在單波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)零反射,或在較寬的光譜區(qū)達(dá)到好的增透效果,往往采用雙層、三層甚至更多層數(shù)的減反射膜。圖1的a、b、c分別繪出Kg玻璃表面的單層、雙層和三層增透膜的剩余反射曲線。減反射膜是應(yīng)用**廣、產(chǎn)量比較大的一種光學(xué)薄膜,因此,它至今仍是光學(xué)薄膜技術(shù)中重要的研究課題,研究的重點(diǎn)是尋找新材料,設(shè)計(jì)新膜系,改進(jìn)淀積工藝,使之用**少的層數(shù),**簡(jiǎn)單、**穩(wěn)定的工藝,獲得盡可能高的成品率,達(dá)到**理想的效果。對(duì)激光薄膜來(lái)說(shuō),減反射膜是激光損傷的薄弱環(huán)節(jié),如何提高它的破壞強(qiáng)度,也是人們**關(guān)心的問(wèn)題之一。是種類多、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的一類光學(xué)薄膜。海安名優(yōu)光學(xué)膜均價(jià)

光學(xué)薄膜指通過(guò)物理化學(xué)方法在光學(xué)器件表面沉積的膜系,利用光的干涉效應(yīng)改變光學(xué)特性,實(shí)現(xiàn)增透、反射、分光等功能。其應(yīng)用始于20世紀(jì)30年代,現(xiàn)***用于光學(xué)及光電子領(lǐng)域。按功能可分為增透膜、高反膜、濾光膜等類型,材料分為金屬膜(如鋁、銀、金)和非金屬膜兩類,金屬膜常用于反射鏡,非金屬膜因穩(wěn)定性高而應(yīng)用更廣。光學(xué)薄膜通過(guò)控制膜層折射率與厚度實(shí)現(xiàn)光波干涉,單層膜可減少反射光,多層組合可擴(kuò)展低反射率波帶。1961年,三層抗反射膜技術(shù)的提出***提升了寬波帶性能。制造技術(shù)包括熱電阻蒸鍍、電子束蒸發(fā)和濺射法,其中濺射法附著力比較好。隨著光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展,光學(xué)薄膜在通訊、顯示、存儲(chǔ)等領(lǐng)域成為關(guān)鍵組件,如投影設(shè)備、光通訊濾波片等,其技術(shù)進(jìn)步直接影響現(xiàn)代光學(xué)儀器的性能演進(jìn)。蘇州國(guó)內(nèi)光學(xué)膜批量定制光學(xué)保護(hù)膜沉積在金屬或其他軟性易侵蝕材料或薄膜表面,用以增加其強(qiáng)度或穩(wěn)定性,改進(jìn)光學(xué)性質(zhì)。

減反射膜又稱增透膜,它的主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面鏡等光學(xué)表面的反射光,從而增加這些元件的透光量,減少或消除系統(tǒng)的雜散光。光學(xué)薄膜**簡(jiǎn)單的增透膜是單層膜,它是鍍?cè)诠鈱W(xué)零件光學(xué)表面上的一層折射率較低的薄膜。當(dāng)薄膜的折射率低于基體材料的折射率時(shí),兩個(gè)界面的反射系數(shù)r1和r2具有 相同的位相變化。如果膜層的光學(xué)厚度是某一波長(zhǎng)的四分之一,相鄰兩束光的光程差恰好為π,即振動(dòng)方向相反,疊加的結(jié)果使光學(xué)表面對(duì)該波長(zhǎng)的反射光減少。適當(dāng)選擇膜層的折射率,使得r1和r2相等,這時(shí)光學(xué)表面的反射光可以完全消除。
在紫外區(qū)常用的金屬薄膜材料是鋁,在可見光區(qū)常用鋁和銀,在紅外區(qū)常用金、銀和銅,此外,鉻和鉑也常用作一些特種薄膜的膜料。由于鋁、銀、銅等材料在空氣中很容易氧化而降低性能,所以必須用電介質(zhì)膜加以保護(hù)。常用的保護(hù)膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。金屬反射膜的優(yōu)點(diǎn)是制備工藝簡(jiǎn)單,工作的波長(zhǎng)范圍寬;缺點(diǎn)是光損耗大,反射率不可能很高。為了使金屬反射膜的反射率進(jìn)一步提高,可以在膜的外側(cè)加鍍幾層一定厚度的電介質(zhì)層,組成金屬電介質(zhì)反射膜。它的功能是增加光學(xué)表面的反射率。

填充密度定義為薄膜固體部分的體積與薄膜的總體積(包括空隙和微孔)之比。對(duì)于光學(xué)薄膜,填充密度通常為0.75~**部分為0.85~0.95,很少達(dá)到1.0。小于l的填充密度使所蒸發(fā)材料的折射率低于其塊料的折射率。在沉積過(guò)程中,每一層的厚度均由光學(xué)或石英晶體監(jiān)控。這兩種技術(shù)各有優(yōu)缺點(diǎn),這里不作討論。其共同點(diǎn)是材料蒸發(fā)時(shí)它們均在真空中使用,因而,折射率是蒸發(fā)材料在真空中的折射率,而不是暴露于潮濕空氣中的材料折射率。薄膜吸收的潮氣取代微孔和空隙,造成薄膜的折射率升高。由于薄膜的物理厚度保持不變,這種折射率升高伴有相應(yīng)的光學(xué)厚度的增加,反過(guò)來(lái)造成薄膜光譜特性向長(zhǎng)波方向的漂移。為了減小由膜層內(nèi)微孔的體積和數(shù)量所引起的這種光譜漂移,采用高能離子以將其動(dòng)量傳遞給正在蒸發(fā)的材料原子,從而**增加材料原子在基底表面處凝結(jié)期間的遷移率。 [3]可以是透明介質(zhì),也可以是吸收介質(zhì);可以是法向均勻的,也可以是法向不均勻的。江蘇質(zhì)量光學(xué)膜銷售
光學(xué)增透膜沉積在光學(xué)元件表面,用以減少表面反射,增加光學(xué)系統(tǒng)透射,又稱減反射膜。海安名優(yōu)光學(xué)膜均價(jià)
光學(xué)鍍膜是指在光學(xué)零件表面上鍍上一層(或多層)金屬(或介質(zhì))薄膜的工藝過(guò)程。在光學(xué)零件表面鍍膜的目的是為了達(dá)到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學(xué)鍍膜。 [1鍍膜是用物理或化學(xué)的方法在材料表面鍍上一層透明的電解質(zhì)膜,或鍍一層金屬膜,目的是改變材料表面的反射和透射特性。在可見光和紅外線波段范圍內(nèi),大多數(shù)金屬的反射率都可達(dá)到78%~98%,但不可高于98%。無(wú)論是對(duì)于CO2激光,采用銅、鉬、硅、鍺等來(lái)制作反射鏡,采用鍺、砷化鎵、硒化鋅作為輸出窗口和透射光學(xué)元件材料,還是對(duì)于YAG激光采用普通光學(xué)玻璃作為反射鏡、輸出鏡和透射光學(xué)元件材料,都不能達(dá)到全反射鏡的99%以上要求。不同應(yīng)用時(shí)輸出鏡有不同透過(guò)率的要求,因此必須采用光學(xué)鍍膜方法。海安名優(yōu)光學(xué)膜均價(jià)
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