芯片流片的制造過(guò)程一般包括以下步驟：1.制備晶圓。芯片的制造需要在一塊圓形的硅基片上進(jìn)行，這個(gè)基片一般稱為晶圓。制備晶圓的過(guò)程包括清洗、拋光、化學(xué)蝕刻等步驟。這個(gè)步驟的目的是確保晶圓表面的平整度和純度，為后續(xù)的工作打好基礎(chǔ)。2.運(yùn)用光刻技術(shù)打印電路圖案。光刻是一種通過(guò)曝光和蝕刻來(lái)制造芯片的技術(shù)，它的原理是利用高清晰度的光刻膠和鐳射光來(lái)進(jìn)行芯片電路的圖案制造。這個(gè)過(guò)程需要一個(gè)***來(lái)進(jìn)行。3.沉積金屬。制造芯片還需要沉積金屬，這一步驟主要是在晶圓表面涂上一層金屬，包括銅、鎢等金屬。這個(gè)過(guò)程可以用物相沉積等技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)。中清航科小批量流片專線，支持100片起訂。上海SMIC 65nm流片代理

流片過(guò)程中的測(cè)試方案設(shè)計(jì)直接影響產(chǎn)品質(zhì)量驗(yàn)證效果，中清航科的測(cè)試工程團(tuán)隊(duì)具備豐富經(jīng)驗(yàn)。根據(jù)芯片應(yīng)用場(chǎng)景，定制化設(shè)計(jì)測(cè)試向量與測(cè)試流程，覆蓋功能測(cè)試、性能測(cè)試、可靠性測(cè)試等全維度。針對(duì)高頻芯片，引入微波探針臺(tái)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，實(shí)現(xiàn)110GHz以內(nèi)的高頻參數(shù)精確測(cè)量；對(duì)于低功耗芯片，則配備高精度功耗測(cè)試儀，電流測(cè)量分辨率達(dá)1pA。通過(guò)優(yōu)化測(cè)試方案，使測(cè)試覆蓋率提升至99.8%，潛在缺陷漏檢率控制在0.02%以下。為幫助客戶應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的人才短缺問(wèn)題，中清航科推出流片技術(shù)賦能計(jì)劃。定期組織流片工藝培訓(xùn)課程，內(nèi)容涵蓋晶圓制造流程、工藝參數(shù)影響、良率提升方法等，采用理論授課與實(shí)操演練相結(jié)合的方式，培訓(xùn)教材由前晶圓廠編寫，具有極強(qiáng)的實(shí)用性。培訓(xùn)結(jié)束后頒發(fā)認(rèn)證證書，學(xué)員可優(yōu)先獲得中清航科的技術(shù)支持資源。去年累計(jì)舉辦30期培訓(xùn)班，為行業(yè)培養(yǎng)了500余名流片技術(shù)人才，學(xué)員所在企業(yè)的流片效率平均提升20%?；窗才_(tái)積電 40nm流片代理中清航科流片代理提供28nm/40nm工藝快速報(bào)價(jià)，5天內(nèi)完成成本核算。

特殊工藝芯片的流片需要匹配專業(yè)的晶圓廠資源，中清航科憑借多年積累，構(gòu)建起覆蓋特殊工藝的流片代理網(wǎng)絡(luò)。在MEMS芯片領(lǐng)域，與全球MEMS晶圓廠合作，可提供從晶圓鍵合、深硅刻蝕到釋放工藝的全流程流片服務(wù)，支持壓力傳感器、微鏡、射頻MEMS等產(chǎn)品，流片后的器件性能參數(shù)偏差控制在5%以內(nèi)。針對(duì)化合物半導(dǎo)體，如GaN、SiC等，中清航科的技術(shù)團(tuán)隊(duì)熟悉材料特性與工藝要求，能為客戶提供襯底選擇、外延生長(zhǎng)參數(shù)優(yōu)化等專業(yè)建議，已成功代理新能源汽車用SiC功率器件的流片項(xiàng)目，幫助客戶將器件的導(dǎo)通電阻降低15%。在光電子芯片領(lǐng)域，與專業(yè)光電器件晶圓廠合作，支持VCSEL、DFB激光器等產(chǎn)品的流片，波長(zhǎng)一致性控制在±1nm以內(nèi)。

對(duì)于需要進(jìn)行車規(guī)級(jí)功率器件流片的客戶，中清航科提供符合AEC-Q101標(biāo)準(zhǔn)的流片代理服務(wù)。其與具備車規(guī)級(jí)功率器件生產(chǎn)資質(zhì)的晶圓廠合作，熟悉IGBT、MOSFET等功率器件的流片工藝，能為客戶提供芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、柵極氧化層優(yōu)化、終端結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等專業(yè)服務(wù)。在流片過(guò)程中，實(shí)施更嚴(yán)格的工藝控制與可靠性測(cè)試，如高溫柵偏測(cè)試、短路測(cè)試、雪崩能量測(cè)試等，確保產(chǎn)品滿足車規(guī)級(jí)要求。已成功代理多個(gè)車規(guī)級(jí)IGBT的流片項(xiàng)目，產(chǎn)品通過(guò)了AEC-Q101認(rèn)證，應(yīng)用于新能源汽車的主逆變器與充電樁。中清航科的流片代理服務(wù)注重?cái)?shù)據(jù)安全，采用多層次的安全防護(hù)體系保護(hù)數(shù)據(jù)。網(wǎng)絡(luò)層面采用防火墻、入侵檢測(cè)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)加密傳輸?shù)燃夹g(shù)，防止數(shù)據(jù)傳輸過(guò)程中的泄露與篡改；服務(wù)器層面采用虛擬化技術(shù)、訪問(wèn)控制、數(shù)據(jù)備份與恢復(fù)等措施，確保數(shù)據(jù)存儲(chǔ)安全；應(yīng)用層面采用身份認(rèn)證、權(quán)限管理、操作日志記錄等功能，防止未授權(quán)訪問(wèn)與操作。通過(guò)多層次防護(hù)，確保數(shù)據(jù)的安全性與完整性，已通過(guò)ISO27001信息安全管理體系認(rèn)證。中清航科量產(chǎn)轉(zhuǎn)流片服務(wù)，首萬(wàn)片晶圓缺陷率＜200DPW。

流片代理的項(xiàng)目管理能力直接影響服務(wù)質(zhì)量，中清航科采用PMBOK項(xiàng)目管理體系，每個(gè)流片項(xiàng)目配備專屬項(xiàng)目經(jīng)理、技術(shù)專員與商務(wù)專員的三人團(tuán)隊(duì)。通過(guò)自研的項(xiàng)目管理系統(tǒng)實(shí)時(shí)跟蹤進(jìn)度，設(shè)置關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)預(yù)警機(jī)制，當(dāng)某環(huán)節(jié)出現(xiàn)延期風(fēng)險(xiǎn)時(shí)自動(dòng)觸發(fā)升級(jí)流程。其項(xiàng)目按時(shí)交付率連續(xù)三年保持在98%以上，遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平。為幫助客戶降低流片風(fēng)險(xiǎn)，中清航科推出“流片保險(xiǎn)”增值服務(wù)?？蛻艨蛇x擇購(gòu)買流片失敗保障，當(dāng)因工藝問(wèn)題導(dǎo)致流片失敗時(shí)，可獲得80%的費(fèi)用賠付，同時(shí)享受重流服務(wù)。該服務(wù)與第三方保險(xiǎn)公司合作開(kāi)發(fā)，覆蓋設(shè)計(jì)錯(cuò)誤、工藝異常等主要風(fēng)險(xiǎn)場(chǎng)景，自推出以來(lái)已為30余家客戶提供風(fēng)險(xiǎn)保障，累計(jì)賠付金額超2000萬(wàn)元。通過(guò)中清航科完成5次流片，享VIP廠線直通權(quán)限。上海中芯國(guó)際 MPW流片代理

中清航科流片加急通道，40天完成從GDS到首片交付。上海SMIC 65nm流片代理

流片成本的透明化與可控性是客戶關(guān)注的重點(diǎn)，中清航科實(shí)行“陽(yáng)光定價(jià)”機(jī)制，讓流片成本清晰可見(jiàn)。在項(xiàng)目啟動(dòng)階段，提供詳細(xì)的報(bào)價(jià)清單，明確列出晶圓代工費(fèi)、掩膜版費(fèi)、測(cè)試費(fèi)、運(yùn)輸費(fèi)等各項(xiàng)費(fèi)用，無(wú)任何隱藏收費(fèi)。為幫助客戶預(yù)估成本，開(kāi)發(fā)了在線流片成本計(jì)算器，客戶輸入工藝節(jié)點(diǎn)、晶圓尺寸、數(shù)量等參數(shù)，即可獲得初步成本估算，誤差范圍控制在5%以內(nèi)。流片過(guò)程中，如因工藝調(diào)整或額外測(cè)試產(chǎn)生費(fèi)用，會(huì)提前與客戶溝通確認(rèn)，獲得同意后再執(zhí)行。項(xiàng)目完成后，提供詳細(xì)的成本核算報(bào)告，對(duì)比實(shí)際費(fèi)用與初始報(bào)價(jià)的差異，并解釋差異原因。此外，定期發(fā)布《流片成本趨勢(shì)報(bào)告》，分析不同工藝節(jié)點(diǎn)的成本變化趨勢(shì)，為客戶的產(chǎn)品規(guī)劃提供參考，這種透明化的成本管理方式贏得了客戶的認(rèn)可。上海SMIC 65nm流片代理